No label defined (Q3539807)
Jump to navigation
Jump to search
Project Q3539807 in Germany
| Language | Label | Description | Also known as |
|---|---|---|---|
| English | No label defined |
Project Q3539807 in Germany |
Statements
559,909.61 Euro
0 references
699,887.01 Euro
0 references
80.0 percent
0 references
1 January 2020
0 references
30 June 2022
0 references
Ernst-Abbe-Hochschule Jena University of Applied Sciences
0 references
07745 Jena
0 references
Im Vorhaben sollen neuartige Konzepte zur Kontrolle industrieller Leistungshalbleiterdotierung auf Basis von Ionenimplantation grundlegend erforscht werden. Moderne Verfahren der Ionenimplantation, wie etwa die Microdegrader-Technik ermöglichen die Produktion besonders effizienter Leistungshalbleiterbauelemente. Ziel des Vorhabens ist es eine gänzlich von Ladungseffekten unabhängige, allein auf ioneninduzierte optische oder topologische Materialmodifikation basierende Prozesskontroll- bzw. Charakterisierungssensorik grundlegend (TRL 1-4) zu erforschen. (German)
0 references
Identifiers
DE_TEMPORARY_ESF_135719
0 references