Q3539807 (Q3539807): Difference between revisions
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50°54'32.44"N, 11°34'31.40"E
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Normal rank | |||||||||||
Revision as of 16:48, 7 November 2021
Project Q3539807 in Germany
| Language | Label | Description | Also known as |
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| English | No label defined |
Project Q3539807 in Germany |
Statements
559,909.61 Euro
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699,887.01 Euro
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80.0 percent
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1 January 2020
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30 June 2022
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Ernst-Abbe-Hochschule Jena University of Applied Sciences
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50°54'32.44"N, 11°34'31.40"E
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07745 Jena
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Im Vorhaben sollen neuartige Konzepte zur Kontrolle industrieller Leistungshalbleiterdotierung auf Basis von Ionenimplantation grundlegend erforscht werden. Moderne Verfahren der Ionenimplantation, wie etwa die Microdegrader-Technik ermöglichen die Produktion besonders effizienter Leistungshalbleiterbauelemente. Ziel des Vorhabens ist es eine gänzlich von Ladungseffekten unabhängige, allein auf ioneninduzierte optische oder topologische Materialmodifikation basierende Prozesskontroll- bzw. Charakterisierungssensorik grundlegend (TRL 1-4) zu erforschen. (German)
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Identifiers
DE_TEMPORARY_ESF_135719
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