Development of mini-PLASMA and MINI-MASSSPEC sensors (Q3778120)
Jump to navigation
Jump to search
Project Q3778120 in Lithuania
| Language | Label | Description | Also known as |
|---|---|---|---|
| English | Development of mini-PLASMA and MINI-MASSSPEC sensors |
Project Q3778120 in Lithuania |
Statements
278,432.5 Euro
0 references
369,973.04 Euro
0 references
75.26 percent
0 references
20 March 2017
0 references
19 January 2020
0 references
UAB Nova Fabrica
0 references
55°20'23.71"N, 26°9'42.70"E
0 references
LT-30106
0 references
Projekto metu Nova Fabrica siekia sukurti du naujus aukšto tikslumo ir patikimumo prietaisus – jutiklius, skirtus vakuuminių gamybos procesų aplinkos matavimui su tiesioginiais taikymais saulės baterijų, plokščiųjų ekranų, architektūrinio stiklo ir kt. gamybos procesuose. Jutikliai gali būti naudojami visuose fizinio garų nusodinimo (angl. Physical Vapour Deposition, PVD) technologijomis paremtuose procesuose; didelė svarba yra teikiama reaktyviam magnetroniniam dulkinimui (angl. Reactive Magnetron Sputtering, toliau RMD), kadangi tai – rinkoje jau plačiai naudojama technologija, su daug neišnaudoto potencialo masinėje gamyboje dėl dabartinių jutiklių techninių trūkumų ir jautrumo pokyčiams. RMD procesai – ypač jautrūs aplinkai, todėl operatyvi ir tiksli dujų sudėties ir lygio analizė ir kontrolė dideliuose plotuose (proceso kamerų dydžiai gali siekti iki 4m pločio ir šimtus metrų ilgio) yra būtinybė siekiant pagaliau maksimaliai išnaudoti šių procesų potencialą gamyboje. Siekiama, kad pramonės šakose, kuriose yra naudojami magnetroninio dulkinimo procesai, naujieji jutikliai dėl didesnio poveikio proceso rezultato kokybei pakeistų šiuo metu naudojamus plazmos emisijos monitoringo (PEM) sužadintų dujų plazmoje ir Lambda (λ) jutiklius, o dėl prieinamesnės kainos – masių spektrometrus ir kitus panašius brangius prietaisus. Projekto apimtyje numatoma atlikti MTEP veiklas, kurių metu bus sukurti, pademonstruoti bei išbandyti du nauji jutiklių prototipai. Taip pat numatomas galutinis šių produktų bandomųjų versijų išbandymas. (Lithuanian)
0 references
During the project, Nova Fabrica aims to develop two new high-precision and reliability devices — sensors for measuring the environment of vacuum production processes with direct applications in the production processes of solar panels, flat screens, architectural glass, etc. Sensors can be used in all processes based on Physical Vapour Deposition (PVD) technologies; reactive Magnetron Sputtering (RMD) is of great importance as it is a technology already widely used in the market, with significant untapped potential in mass production due to current sensors’ technical limitations and sensitivity to changes. RMD processes are particularly sensitive to the environment, so expeditious and accurate analysis and control of gas composition and level in large areas (process chamber sizes up to 4 m wide and hundreds of meters in length) is a necessity to finally maximise the potential of these processes in production. In industries using magnetron sputtering processes, new sensors are intended to replace the current plasma emission monitoring (PEM) and Lambda (λ) sensors due to increased impact on the quality of the process result and mass spectrometers and other similar expensive devices due to more affordable prices. In the scope of the project it is planned to carry out R & D activities, during which two new sensor prototypes will be developed, demonstrated and tested. A final test of the pilot versions of these products is also foreseen. (English)
1 February 2022
0.5282069457568935
0 references
Au cours du projet, Nova Fabrica vise à développer deux nouveaux dispositifs de haute précision et de fiabilité: des capteurs pour mesurer l’environnement des processus de production sous vide avec des applications directes dans les processus de production de panneaux solaires, écrans plats, verre architectural, etc. Les capteurs peuvent être utilisés dans tous les processus basés sur les technologies de dépôt de vapeur physique (PVD); L’épandage réactif Magnetron (RMD) est d’une grande importance car il s’agit d’une technologie déjà largement utilisée sur le marché, avec un potentiel important inexploité dans la production en série en raison des limites techniques des capteurs actuels et de la sensibilité aux changements. Les procédés RMD sont particulièrement sensibles à l’environnement, de sorte que l’analyse et le contrôle rapides et précis de la composition et du niveau du gaz dans de grandes zones (tailles des chambres de traitement allant jusqu’à 4 m de large et des centaines de mètres de longueur) sont une nécessité pour maximiser enfin le potentiel de ces procédés dans la production. Dans les industries utilisant des procédés de pulvérisation de magnétron, de nouveaux capteurs sont destinés à remplacer les capteurs actuels de surveillance des émissions plasmatiques (PEM) et Lambda (λ) en raison de l’impact accru sur la qualité du résultat du procédé et des spectromètres de masse et d’autres dispositifs similaires coûteux en raison de prix plus abordables. Dans le cadre du projet, il est prévu de mener des activités de R & D, au cours desquelles deux nouveaux prototypes de capteurs seront développés, démontrés et testés. Un essai final des versions pilotes de ces produits est également prévu. (French)
1 February 2022
0 references
Nova Fabrica möchte während des Projekts zwei neue hochpräzise und zuverlässige Geräte entwickeln – Sensoren zur Messung der Umgebung von Vakuumproduktionsprozessen mit direkten Anwendungen in den Produktionsprozessen von Solarpaneelen, Flachbildschirmen, Architekturglas usw. Sensoren können in allen Prozessen eingesetzt werden, die auf Technologien der physikalischen Vapour Deposition (PVD) basieren; reaktives Magnetron Sputtering (RMD) ist von großer Bedeutung, da es sich um eine bereits im Markt weit verbreitete Technologie mit erheblichem ungenutztem Potenzial in der Massenproduktion aufgrund der technischen Einschränkungen der aktuellen Sensoren und der Empfindlichkeit gegenüber Veränderungen handelt. RMD-Prozesse sind besonders anfällig für die Umwelt, so dass eine rasche und genaue Analyse und Kontrolle der Gaszusammensetzung und -höhe in großen Bereichen (Prozesskammergrößen bis 4 m breit und hundert Meter Länge) eine Notwendigkeit ist, das Potenzial dieser Prozesse in der Produktion endlich zu maximieren. In Branchen mit Magnetron-Sputterverfahren sollen neue Sensoren die aktuellen Plasma-Emissionsüberwachungssensoren (PEM) und Lambda (λ) ersetzen, da die Qualität des Prozessergebnisses und der Massenspektrometer und andere ähnliche teure Geräte aufgrund günstigerer Preise stärker beeinflusst werden. Im Rahmen des Projekts ist die Durchführung von F & E-Tätigkeiten geplant, bei denen zwei neue Sensorprototypen entwickelt, demonstriert und getestet werden. Eine abschließende Prüfung der Pilotversionen dieser Produkte ist ebenfalls vorgesehen. (German)
2 February 2022
0 references
Tijdens het project wil Nova Fabrica twee nieuwe uiterst nauwkeurige en betrouwbare apparaten ontwikkelen: sensoren voor het meten van de omgeving van vacuümproductieprocessen met directe toepassingen in de productieprocessen van zonnepanelen, flat screens, architectonisch glas, enz. Sensoren kunnen worden gebruikt in alle processen op basis van technologie voor fysieke dampafzetting (PVD); reactieve Magnetron Sputtering (RMD) is van groot belang omdat het een technologie is die al op grote schaal in de markt wordt gebruikt, met een aanzienlijk onbenut potentieel in massaproductie als gevolg van de huidige technische beperkingen en gevoeligheid voor veranderingen van sensoren. RMD-processen zijn bijzonder gevoelig voor het milieu, dus snelle en nauwkeurige analyse en controle van de samenstelling en het niveau van het gas in grote gebieden (proceskamergroottes tot 4 m breed en honderden meter lang) is een noodzaak om het potentieel van deze processen in de productie eindelijk te maximaliseren. In industrieën die gebruik maken van magnetron sputtering processen, zijn nieuwe sensoren bedoeld ter vervanging van de huidige plasma emissie monitoring (PEM) en Lambda (λ) sensoren als gevolg van een grotere impact op de kwaliteit van het proces resultaat en massaspectrometers en andere soortgelijke dure apparaten als gevolg van meer betaalbare prijzen. In het kader van het project is het de bedoeling O & O-activiteiten uit te voeren, waarbij twee nieuwe sensorprototypes zullen worden ontwikkeld, gedemonstreerd en getest. Er is ook een laatste test van de proefversies van deze producten gepland. (Dutch)
2 February 2022
0 references
Durante el proyecto, Nova Fabrica pretende desarrollar dos nuevos dispositivos de alta precisión y fiabilidad: sensores para medir el entorno de los procesos de producción al vacío con aplicaciones directas en los procesos de producción de paneles solares, pantallas planas, vidrio arquitectónico, etc. Los sensores pueden utilizarse en todos los procesos basados en tecnologías de depósito de vapores físicos (PVD); la pulverización magnética reactiva (RMD) es de gran importancia, ya que es una tecnología ya ampliamente utilizada en el mercado, con un potencial significativo sin explotar en la producción en masa debido a las limitaciones técnicas de los sensores de corriente y a la sensibilidad a los cambios. Los procesos RMD son particularmente sensibles al medio ambiente, por lo que el análisis rápido y preciso y el control de la composición y el nivel del gas en grandes áreas (tamaños de cámara de proceso de hasta 4 m de ancho y cientos de metros de longitud) es una necesidad para finalmente maximizar el potencial de estos procesos en la producción. En las industrias que utilizan procesos de pulverización de magnetrón, los nuevos sensores están destinados a reemplazar los sensores actuales de monitoreo de las emisiones de plasma (PEM) y Lambda (λ) debido al mayor impacto en la calidad del resultado del proceso y los espectrómetros de masas y otros dispositivos similares caros debido a precios más asequibles. En el ámbito del proyecto está previsto llevar a cabo actividades de I+D, durante las cuales se desarrollarán, demostrarán y probarán dos nuevos prototipos de sensores. También está prevista una prueba final de las versiones piloto de estos productos. (Spanish)
3 February 2022
0 references
Durante il progetto, Nova Fabrica si propone di sviluppare due nuovi dispositivi di alta precisione e affidabilità — sensori per la misurazione dell'ambiente dei processi di produzione sottovuoto con applicazioni dirette nei processi di produzione di pannelli solari, schermi piatti, vetro architettonico, ecc. I sensori possono essere utilizzati in tutti i processi basati sulle tecnologie di deposizione fisica dei vapori (PVD); Reactive Magnetron Sputtering (RMD) è di grande importanza in quanto è una tecnologia già ampiamente utilizzata sul mercato, con un notevole potenziale inutilizzato nella produzione di massa grazie alle limitazioni tecniche dei sensori e alla sensibilità ai cambiamenti. I processi RMD sono particolarmente sensibili all'ambiente, quindi un'analisi e un controllo rapidi e accurati della composizione del gas e del livello in grandi aree (dimensioni della camera di processo fino a 4 m di larghezza e centinaia di metri di lunghezza) è una necessità per massimizzare finalmente il potenziale di questi processi nella produzione. Nelle industrie che utilizzano processi di sputtering magnetron, i nuovi sensori sono destinati a sostituire gli attuali sensori di monitoraggio delle emissioni al plasma (PEM) e Lambda (λ) a causa dell'aumento dell'impatto sulla qualità del risultato del processo e degli spettrometri di massa e di altri dispositivi costosi simili a causa dei prezzi più convenienti. Nell'ambito del progetto è previsto lo svolgimento di attività di R & S, durante le quali saranno sviluppati, dimostrati e testati due nuovi prototipi di sensori. È inoltre prevista una prova finale delle versioni pilota di questi prodotti. (Italian)
3 February 2022
0 references
Under projektet sigter Nova Fabrica mod at udvikle to nye højpræcisions- og pålidelighedsanordninger — sensorer til måling af miljøet af vakuumproduktionsprocesser med direkte anvendelser i produktionsprocesserne for solpaneler, fladskærme, arkitektoniske glas osv. Sensorer kan anvendes i alle processer baseret på Fysisk Vapour Deposition (PVD) teknologier; reaktiv Magnetron Sputtering (RMD) er af stor betydning, da det er en teknologi, der allerede er meget udbredt på markedet, med et betydeligt uudnyttet potentiale i masseproduktion på grund af nuværende sensorers tekniske begrænsninger og følsomhed over for ændringer. RMD-processer er særligt følsomme over for miljøet, så hurtig og præcis analyse og kontrol af gassammensætning og -niveau i store områder (proceskammerstørrelser op til 4 m bred og hundredvis af meter i længden) er en nødvendighed for endelig at maksimere potentialet i disse processer i produktionen. I industrier, der bruger magnetronforstøvningsprocesser, er nye sensorer beregnet til at erstatte de nuværende plasmaemissionsovervågning (PEM) og Lambda (λ) sensorer på grund af øget indvirkning på kvaliteten af procesresultatet og massespektrometre og andre lignende dyre enheder på grund af mere overkommelige priser. Inden for rammerne af projektet er det planlagt at gennemføre F & U-aktiviteter, hvor to nye sensorprototyper udvikles, demonstreres og afprøves. Der er også planlagt en afsluttende test af pilotversionerne af disse produkter. (Danish)
18 July 2022
0 references
Κατά τη διάρκεια του έργου, η Nova Fabrica στοχεύει στην ανάπτυξη δύο νέων συσκευών υψηλής ακρίβειας και αξιοπιστίας — αισθητήρων για τη μέτρηση του περιβάλλοντος των διεργασιών παραγωγής κενού με άμεσες εφαρμογές στις διαδικασίες παραγωγής ηλιακών συλλεκτών, επίπεδων οθονών, αρχιτεκτονικών υαλοπινάκων κ.λπ. Οι αισθητήρες μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε όλες τις διαδικασίες που βασίζονται στις τεχνολογίες εναπόθεσης φυσικού ατμού (PVD). το Reactive Magnetron Sputtering (RMD) έχει μεγάλη σημασία, καθώς είναι μια τεχνολογία που χρησιμοποιείται ήδη ευρέως στην αγορά, με σημαντικό αναξιοποίητο δυναμικό στη μαζική παραγωγή λόγω των τεχνικών περιορισμών των σημερινών αισθητήρων και της ευαισθησίας στις αλλαγές. Οι διεργασίες RMD είναι ιδιαίτερα ευαίσθητες στο περιβάλλον, οπότε η ταχεία και ακριβής ανάλυση και ο έλεγχος της σύνθεσης και της στάθμης του αερίου σε μεγάλες περιοχές (μεγέθη θαλάμου επεξεργασίας έως 4 m πλάτος και εκατοντάδες μέτρα σε μήκος) είναι ανάγκη να μεγιστοποιηθεί τελικά το δυναμικό αυτών των διαδικασιών στην παραγωγή. Στις βιομηχανίες που χρησιμοποιούν διαδικασίες εκτόξευσης μαγνήτρου, οι νέοι αισθητήρες προορίζονται να αντικαταστήσουν τους υφιστάμενους αισθητήρες παρακολούθησης των εκπομπών πλάσματος (PEM) και Lambda (λ) λόγω της αυξημένης επίδρασης στην ποιότητα του αποτελέσματος της διεργασίας και των φασματογράφων μάζας και άλλων παρόμοιων δαπανηρών συσκευών λόγω των πιο προσιτών τιμών. Στο πλαίσιο του έργου προβλέπεται η διεξαγωγή δραστηριοτήτων Ε & Α, κατά τη διάρκεια των οποίων θα αναπτυχθούν, θα επιδειχθούν και θα δοκιμαστούν δύο νέα πρωτότυπα αισθητήρων. Προβλέπεται επίσης τελική δοκιμή των πιλοτικών εκδόσεων αυτών των προϊόντων. (Greek)
18 July 2022
0 references
Tijekom projekta Nova Fabrica ima za cilj razviti dva nova visokoprecizna i pouzdana uređaja – senzore za mjerenje okruženja vakuumskih proizvodnih procesa s izravnim primjenama u proizvodnim procesima solarnih panela, ravnih ekrana, arhitektonskog stakla itd. Senzori se mogu koristiti u svim procesima koji se temelje na tehnologijama fizičke razgradnje pare (PVD); reaktivni Magnetron Sputtering (RMD) od velike je važnosti jer je tehnologija već široko korištena na tržištu, sa značajnim neiskorištenim potencijalom u masovnoj proizvodnji zbog tehničkih ograničenja sadašnjih senzora i osjetljivosti na promjene. RMD procesi su posebno osjetljivi na okoliš, tako da je brza i točna analiza i kontrola sastava plina i razine na velikim površinama (procesne komore širine do 4 m i stotine metara duljine) nužnost da se konačno maksimizira potencijal tih procesa u proizvodnji. U industrijama koje koriste procese magnetronskog rasprašenja, novi senzori namijenjeni su zamjeni sadašnjih senzora za praćenje emisija u plazmi (PEM) i Lambda (λ) zbog povećanog utjecaja na kvalitetu rezultata procesa i masenih spektrometri i drugih sličnih skupih uređaja zbog pristupačnijih cijena. U okviru projekta planira se provedba aktivnosti istraživanja i razvoja tijekom kojih će se razviti, demonstrirati i testirati dva nova prototipa senzora. Predviđeno je i konačno ispitivanje pilot verzija tih proizvoda. (Croatian)
18 July 2022
0 references
În cadrul proiectului, Nova Fabrica își propune să dezvolte două noi dispozitive de înaltă precizie și fiabilitate – senzori pentru măsurarea mediului proceselor de producție în vid cu aplicații directe în procesele de producție a panourilor solare, a ecranelor plate, a sticlei arhitecturale etc. Senzorii pot fi utilizați în toate procesele bazate pe tehnologiile de depunere fizică a vaporilor (PVD); pulverizarea reactivă Magnetron (RMD) este de mare importanță, deoarece este o tehnologie deja utilizată pe scară largă pe piață, cu un potențial semnificativ neexploatat în producția de masă datorită limitărilor tehnice ale senzorilor actuali și sensibilității la schimbări. Procesele RMD sunt deosebit de sensibile la mediu, astfel încât analiza și controlul rapid și precis al compoziției și nivelului gazelor în zone mari (dimensiuni ale camerei de proces de până la 4 m lățime și sute de metri în lungime) este o necesitate pentru a maximiza în cele din urmă potențialul acestor procese în producție. În industriile care utilizează procese de pulverizare cu magnetron, senzorii noi sunt destinați să înlocuiască senzorii actuali de monitorizare a emisiilor de plasmă (PEM) și senzorii Lambda (λ), datorită impactului sporit asupra calității rezultatului procesului și a spectrometrelor de masă și a altor dispozitive scumpe similare datorită prețurilor mai accesibile. În domeniul de aplicare al proiectului se prevede desfășurarea de activități de cercetare și dezvoltare, în cursul cărora vor fi dezvoltate, demonstrate și testate două noi prototipuri de senzori. Se prevede, de asemenea, un test final al versiunilor pilot ale acestor produse. (Romanian)
18 July 2022
0 references
Počas projektu chce Nova Fabrica vyvinúť dve nové vysoko presné a spoľahlivé zariadenia – senzory na meranie prostredia vákuových výrobných procesov s priamym využitím vo výrobných procesoch solárnych panelov, plochých obrazoviek, architektonického skla atď. Snímače možno použiť vo všetkých procesoch založených na technológiách fyzikálneho vylučovania pár (PVD); reaktívne Magnetron Sputtering (RMD) je veľmi dôležité, pretože je to technológia už široko používaná na trhu, s významným nevyužitý potenciál v masovej výrobe vďaka technickým obmedzeniam súčasných senzorov a citlivosti na zmeny. Procesy RMD sú obzvlášť citlivé na životné prostredie, takže rýchla a presná analýza a kontrola zloženia a úrovne plynu vo veľkých oblastiach (veľkosti procesnej komory do šírky 4 m a stovky metrov na dĺžku) je nevyhnutnosťou konečne maximalizovať potenciál týchto procesov vo výrobe. V priemyselných odvetviach využívajúcich magnetrónové naprašovacie procesy majú nové snímače nahradiť súčasné plazmové snímače monitorovania emisií (PEM) a Lambda (λ) vďaka zvýšenému vplyvu na kvalitu výsledkov procesu a hmotnostné spektrometre a iné podobné drahé zariadenia vďaka dostupnejším cenám. V rozsahu projektu sa plánuje realizácia výskumných a vývojových činností, počas ktorých sa budú vyvíjať, demonštrovať a testovať dva nové prototypy snímačov. Predpokladá sa aj záverečný test pilotných verzií týchto výrobkov. (Slovak)
18 July 2022
0 references
Matul il-proġett, Nova Fabrica għandha l-għan li tiżviluppa żewġ apparati ġodda ta’ preċiżjoni għolja u ta’ affidabbiltà — sensuri għall-kejl tal-ambjent tal-proċessi tal-produzzjoni tal-vakwu b’applikazzjonijiet diretti fil-proċessi tal-produzzjoni tal-pannelli solari, skrins ċatti, ħġieġ arkitettoniku, eċċ. Sensuri jistgħu jintużaw fil-proċessi kollha bbażati fuq teknoloġiji ta’ Depożizzjoni Fiżika mill-Fwar (PVD); ir-Reactive Magnetron Sputtering (RMD) hija ta’ importanza kbira peress li hija teknoloġija diġà użata ħafna fis-suq, b’potenzjal sinifikanti mhux sfruttat fil-produzzjoni tal-massa minħabba l-limitazzjonijiet tekniċi tas-sensuri attwali u s-sensittività għall-bidliet. Il-proċessi tal-RMD huma partikolarment sensittivi għall-ambjent, għalhekk l-analiżi u l-kontroll preċiżi u rapidi tal-kompożizzjoni u l-livell tal-gass f’żoni kbar (id-daqsijiet tal-kamra tal-proċess sa 4 m wiesgħa u mijiet ta’ metri fit-tul) hija neċessità li fl-aħħar jiġi massimizzat il-potenzjal ta’ dawn il-proċessi fil-produzzjoni. Fl-industriji li jużaw proċessi ta ‘sputtering magnetron, sensuri ġodda huma maħsuba biex jissostitwixxu s-sensuri attwali tal-monitoraġġ tal-emissjonijiet tal-plażma (PEM) u Lambda (λ) minħabba żieda fl-impatt fuq il-kwalità tar-riżultat tal-proċess u spettrometri tal-massa u apparat ieħor simili għali minħabba prezzijiet aktar affordabbli. Fl-ambitu tal-proġett huwa ppjanat li jitwettqu attivitajiet ta’ riċerka u żvilupp; attivitajiet ta’ żvilupp, li matulhom ser jiġu żviluppati, murija u ttestjati żewġ prototipi ġodda tas-sensuri. Huwa previst ukoll test finali tal-verżjonijiet pilota ta’ dawn il-prodotti. (Maltese)
18 July 2022
0 references
Durante o projeto, a Nova Fabrica pretende desenvolver dois novos dispositivos de elevada precisão e fiabilidade — sensores para medição do ambiente dos processos de produção de vácuo com aplicações diretas nos processos de produção de painéis solares, ecrãs planos, vidro arquitetónico, etc. Os sensores podem ser utilizados em todos os processos baseados em tecnologias de deposição física em fase vapor (PVD); a pulverização catódica magnética (RMD) reativa é de grande importância, uma vez que é uma tecnologia já amplamente utilizada no mercado, com um potencial inexplorado significativo na produção em massa devido às atuais limitações técnicas dos sensores e à sensibilidade às alterações. Os processos de RMD são particularmente sensíveis ao ambiente, pelo que uma análise e um controlo rápidos e precisos da composição e do nível do gás em grandes áreas (dimensões das câmaras de processo até 4 m de largura e centenas de metros de comprimento) é uma necessidade para finalmente maximizar o potencial destes processos na produção. Nas indústrias que utilizam processos de pulverização catódica por magnetrão, os novos sensores destinam-se a substituir os atuais sensores de monitorização das emissões de plasma (PEM) e Lambda (λ) devido ao aumento do impacto na qualidade do resultado do processo e nos espetrómetros de massa e outros dispositivos caros semelhantes devido a preços mais acessíveis. No âmbito do projecto está prevista a realização de actividades de I & D, durante as quais serão desenvolvidos, demonstrados e testados dois novos protótipos de sensores. Está igualmente previsto um ensaio final das versões-piloto destes produtos. (Portuguese)
18 July 2022
0 references
Hankkeen aikana Nova Fabrica pyrkii kehittämään kaksi uutta korkean tarkkuuden ja luotettavuuden laitetta – antureita, joilla mitataan tyhjiön tuotantoprosessien ympäristöä suoraan aurinkopaneelien, litteän näytön, arkkitehtonisen lasin jne. tuotantoprosessien yhteydessä. Antureita voidaan käyttää kaikissa prosesseissa, jotka perustuvat fysikaaliseen höyrypinnoitustekniikkaan (PVD). reaktiivinen Magnetron Sputtering (RMD) on erittäin tärkeä, koska se on teknologia, jota käytetään jo laajalti markkinoilla ja jolla on merkittävää käyttämätöntä potentiaalia massatuotannossa nykyisten antureiden teknisten rajoitusten ja muutosten herkkyyden vuoksi. RMD-prosessit ovat erityisen herkkiä ympäristölle, joten kaasukoostumuksen ja -tason nopea ja täsmällinen analysointi ja valvonta suurilla alueilla (prosessikammion koko enintään 4 m leveä ja satojen metrin pituinen) on välttämätöntä näiden prosessien potentiaalin maksimoimiseksi tuotannossa. Magnetronin sputterointiprosesseja käyttävillä teollisuudenaloilla uudet anturit on tarkoitettu korvaamaan nykyiset plasmapäästöjen seuranta- (PEM) ja Lambda (λ) -anturit, koska niiden vaikutus prosessin tuloksen laatuun ja massaspektrometrit ja muut vastaavat kalliit laitteet ovat lisääntyneet edullisempien hintojen vuoksi. Hankkeen puitteissa on tarkoitus toteuttaa tutkimus- ja kehitystoimia, joiden aikana kehitetään, esitellään ja testataan kaksi uutta anturiprototyyppiä. Lisäksi suunnitellaan näiden tuotteiden pilottiversioiden lopullista testausta. (Finnish)
18 July 2022
0 references
W trakcie projektu Nova Fabrica ma na celu opracowanie dwóch nowych precyzyjnych i niezawodnych urządzeń – czujników do pomiaru środowiska procesów produkcji próżniowej z bezpośrednim zastosowaniem w procesach produkcyjnych paneli słonecznych, płaskich ekranów, szkła architektonicznego itp. Czujniki mogą być stosowane we wszystkich procesach opartych na technologiach osadzania z pary fizycznej (PVD); reaktywne rozpylanie Magnetronów (RMD) ma ogromne znaczenie, ponieważ jest to technologia już szeroko stosowana na rynku, o znacznym niewykorzystanym potencjale w produkcji masowej ze względu na ograniczenia techniczne obecnych czujników i wrażliwość na zmiany. Procesy RMD są szczególnie wrażliwe na środowisko, dlatego sprawna i dokładna analiza i kontrola składu i poziomu gazu na dużych obszarach (rozmiar komór procesowych do 4 m szerokości i setek metrów długości) jest konieczna, aby wreszcie zmaksymalizować potencjał tych procesów w produkcji. W przemyśle wykorzystującym procesy rozpylania magnetronowego nowe czujniki mają zastąpić obecne czujniki monitorowania emisji plazmy (PEM) i Lambda (λ) ze względu na zwiększony wpływ na jakość wyników procesu i spektrometry masowe oraz inne podobne drogie urządzenia ze względu na bardziej przystępne ceny. W ramach projektu planowane jest przeprowadzenie działań badawczo-rozwojowych, podczas których opracowane zostaną, zademonstrowane i przetestowane dwa nowe prototypy czujników. Przewiduje się również ostateczny test wersji pilotażowych tych produktów. (Polish)
18 July 2022
0 references
Med projektom namerava Nova Fabrica razviti dve novi visoko natančni in zanesljivi napravi – senzorje za merjenje okolja vakuumskih proizvodnih procesov z neposredno uporabo v proizvodnih procesih sončnih panelov, ravnih zaslonov, arhitekturnega stekla itd. Senzorji se lahko uporabljajo v vseh procesih, ki temeljijo na tehnologijah fizičnega nanašanja hlapov (PVD); reaktivni Magnetron Sputtering (RMD) je zelo pomemben, saj je tehnologija, ki se že široko uporablja na trgu, z znatnim neizkoriščenim potencialom v množični proizvodnji zaradi tehničnih omejitev in občutljivosti senzorjev na spremembe. Postopki RMD so še posebej občutljivi na okolje, zato je hitra in natančna analiza in nadzor sestave in ravni plina na velikih območjih (velikost procesnih komor do 4 m in dolžina več sto metrov) nujna, da se končno čim bolj poveča potencial teh procesov v proizvodnji. V industriji, ki uporablja magnetronske postopke brizganja, so novi senzorji namenjeni zamenjavi trenutnih senzorjev za spremljanje emisij plazme (PEM) in Lambda (λ) zaradi povečanega vpliva na kakovost rezultata procesa in masnih spektrometrov ter drugih podobnih dragih naprav zaradi ugodnejših cen. V okviru projekta se načrtuje izvedba raziskovalnih in razvojnih dejavnosti, med katerimi bosta razvita, predstavljena in preizkušena dva nova prototipa senzorjev. Predviden je tudi končni preskus pilotnih različic teh izdelkov. (Slovenian)
18 July 2022
0 references
Během projektu se Nova Fabrica snaží vyvinout dvě nová vysoce přesná a spolehlivá zařízení – senzory pro měření prostředí vakuových výrobních procesů s přímými aplikacemi ve výrobních procesech solárních panelů, plochých obrazovek, architektonického skla atd. Senzory lze použít ve všech procesech založených na technologiích fyzikální depozice vapour (PVD); Reactive Magnetron Sputtering (RMD) má velký význam, neboť se jedná o technologii, která je již na trhu široce používána, s významným nevyužitým potenciálem v masové výrobě vzhledem k technickým omezením a citlivosti současných senzorů na změny. Procesy RMD jsou obzvláště citlivé na životní prostředí, takže rychlá a přesná analýza a kontrola složení a hladiny plynu ve velkých oblastech (velikost procesní komory do 4 m široké a stovky metrů na délku) je nutností konečně maximalizovat potenciál těchto procesů ve výrobě. V průmyslových odvětvích využívajících magnetronové rozprašovací procesy mají nové senzory nahradit současné senzory pro monitorování plazmových emisí (PEM) a Lambda (λ) v důsledku zvýšeného dopadu na kvalitu výsledku procesu a hmotnostní spektrometry a další podobně nákladná zařízení kvůli dostupnějším cenám. V rámci projektu se plánuje provádět činnosti v oblasti výzkumu a vývoje, během nichž budou vyvinuty, demonstrovány a testovány dva nové prototypy senzorů. Předpokládá se rovněž závěrečná zkouška pilotních verzí těchto výrobků. (Czech)
18 July 2022
0 references
Projekta laikā Nova Fabrica plāno izstrādāt divas jaunas augstas precizitātes un uzticamības ierīces — sensorus vakuuma ražošanas procesu vides mērīšanai ar tiešu pielietojumu saules paneļu, plakano ekrānu, arhitektoniskā stikla u. c. ražošanas procesos. Sensorus var izmantot visos procesos, pamatojoties uz fizikālo tvaiku pārklāšanas (PVD) tehnoloģijām; reaktīvā Magnetron Sputtering (RMD) ir ļoti svarīga, jo tā ir tehnoloģija, kas jau tiek plaši izmantota tirgū, ar ievērojamu neizmantotu potenciālu masveida ražošanā, pateicoties pašreizējiem sensoru tehniskajiem ierobežojumiem un jutīgumam pret izmaiņām. RMD procesi ir īpaši jutīgi pret vidi, tāpēc ātra un precīza gāzes sastāva un līmeņa analīze un kontrole lielās platībās (procesu kameras izmēri līdz 4 m platumā un simtiem metru garumā) ir nepieciešamība beidzot maksimāli izmantot šo procesu potenciālu ražošanā. Nozarēs, kurās izmanto magnetronu izsmidzināšanas procesus, jauni sensori ir paredzēti, lai aizstātu pašreizējo plazmas emisijas monitoringu (PEM) un Lambda (λ) sensorus, pateicoties lielākai ietekmei uz procesa rezultātu kvalitāti un masspektrometriem un citām līdzīgām dārgām ierīcēm, pateicoties pieejamākām cenām. Projekta ietvaros plānots veikt P & D aktivitātes, kuru laikā tiks izstrādāti, demonstrēti un testēti divi jauni sensoru prototipi. Ir paredzēts arī šo ražojumu izmēģinājuma versiju galīgais tests. (Latvian)
18 July 2022
0 references
По време на проекта Нова Фабрика има за цел да разработи две нови високопрецизни и надеждни устройства — сензори за измерване на средата на вакуумни производствени процеси с директни приложения в производствените процеси на слънчеви панели, плоски екрани, архитектурно стъкло и др. Сензорите могат да се използват във всички процеси, базирани на технологии за отлагане на физически пари (PVD); реактивното разпрашаване на магнетрон (RMD) е от голямо значение, тъй като това е технология, която вече е широко използвана на пазара, със значителен неизползван потенциал в масовото производство поради техническите ограничения на настоящите сензори и чувствителността към промени. Процесите на RMD са особено чувствителни към околната среда, така че бързият и точен анализ и контрол на състава и нивото на газа в големи площи (размери на камерата до 4 m и дължина на стотици метра) е необходимо най-накрая да се увеличи максимално потенциалът на тези процеси в производството. В отраслите, използващи магнетронни разпрашващи процеси, новите сензори са предназначени да заменят настоящите сензори за мониторинг на плазмените емисии (PEM) и Ламбда (λ) поради повишеното въздействие върху качеството на резултата от процеса и масовите спектрометри и други подобни скъпи устройства поради по-достъпни цени. В обхвата на проекта се планира провеждането на научноизследователски и развойни дейности, по време на които ще бъдат разработени, демонстрирани и изпитани два нови сензорни прототипа. Предвидено е и окончателно изпитване на пилотните версии на тези продукти. (Bulgarian)
18 July 2022
0 references
A projekt során a Nova Fabrica két új, nagy pontosságú és megbízhatóságú eszközt kíván kifejleszteni: a vákuumgyártási folyamatok környezetének mérésére szolgáló érzékelőket, a napelemek, sík képernyők, építészeti üvegek stb. gyártási folyamataiban közvetlen alkalmazásokkal. Az érzékelők minden fizikai gőzleválasztási (PVD) technológián alapuló folyamathoz használhatók; a reaktív Magnetron porlasztás (RMD) nagy jelentőséggel bír, mivel ez egy már széles körben használt technológia a piacon, és jelentős kiaknázatlan potenciállal rendelkezik a tömegtermelésben a jelenlegi érzékelők műszaki korlátai és a változásokra való érzékenysége miatt. Az RMD-folyamatok különösen érzékenyek a környezetre, ezért a gáz összetételének és szintjének gyors és pontos elemzése és ellenőrzése nagy területeken (a folyamatkamrák mérete legfeljebb 4 m széles és több száz méter) szükséges ahhoz, hogy végül maximalizáljuk ezeknek a folyamatoknak a termelési potenciálját. A magnetron porlasztási folyamatokat alkalmazó iparágakban az új érzékelők a jelenlegi plazmakibocsátás-monitoring (PEM) és Lambda (λ) érzékelők helyettesítésére szolgálnak, mivel a megfizethetőbb árak miatt fokozott hatást gyakorolnak a folyamat eredményére, a tömegspektrométerekre és más hasonló drága eszközökre. A projekt keretében a tervek szerint R & D tevékenységeket végeznek, amelyek során két új érzékelőprototípust fejlesztenek ki, bemutatnak és tesztelnek. E termékek kísérleti változatainak végső tesztelését is tervezik. (Hungarian)
18 July 2022
0 references
Le linn an tionscadail, tá sé d’aidhm ag Nova Fabrica dhá ghaireas nua ardchruinnis agus iontaofachta a fhorbairt — braiteoirí chun timpeallacht na bpróiseas táirgthe i bhfolús a thomhas le feidhmeanna díreacha i bpróisis táirgthe painéil ghréine, scáileáin chothroma, gloine ailtireachta, etc. Is féidir braiteoirí a úsáid i ngach próiseas atá bunaithe ar theicneolaíochtaí an Deascadh Fisiciúil Vapour (PVD); imoibríoch Magnetron Sputtering (RMD) Tá tábhacht mhór mar go bhfuil sé ar theicneolaíocht a úsáidtear cheana féin go forleathan sa mhargadh, le poitéinseal suntasach neamhshaothraithe i dtáirgeadh mais mar gheall ar theorainneacha teicniúla braiteoirí atá ann faoi láthair agus íogaireacht d’athruithe. Tá próisis RMD íogair go háirithe don chomhshaol, is gá anailís agus rialú chomh gasta agus cruinn ar chomhdhéanamh agus ar leibhéal gáis i gceantair mhóra (méideanna seomra próiseála suas le 4 m ar leithead agus na céadta méadar ar fhad) chun acmhainneacht na bpróiseas sin i dtáirgeadh a uasmhéadú ar deireadh. I dtionscail ag baint úsáide as próisis sputtering magnetron, tá braiteoirí nua ceaptha a chur in ionad na braiteoirí monatóireachta plasma reatha (PEM) agus Lambda (λ) mar gheall ar thionchar méadaithe ar cháilíocht an phróisis toradh agus mais-speictriméadair agus feistí costasacha eile den chineál céanna mar gheall ar phraghsanna níos inacmhainne. I raon feidhme an tionscadail tá sé beartaithe gníomhaíochtaí T & F a dhéanamh, ar lena linn a dhéanfar dhá fhréamhshamhail bhraiteora nua a fhorbairt, a léiriú agus a thástáil. Foráiltear freisin go ndéanfar tástáil deiridh ar na leaganacha píolótacha de na táirgí sin. (Irish)
18 July 2022
0 references
Under projektet strävar Nova Fabrica efter att utveckla två nya högprecisions- och tillförlitlighetsanordningar – sensorer för att mäta miljön för vakuumproduktionsprocesser med direkta tillämpningar i produktionsprocesserna för solpaneler, plattskärmar, arkitektoniskt glas, etc. Sensorer kan användas i alla processer baserade på PPVD-teknik (fysisk Vapour Deposition). reaktiv Magnetron Sputtering (RMD) är av stor betydelse eftersom det är en teknik som redan används i stor utsträckning på marknaden, med betydande outnyttjad potential i massproduktion på grund av nuvarande sensorers tekniska begränsningar och känslighet för förändringar. RMD-processer är särskilt känsliga för miljön, så snabb och noggrann analys och kontroll av gassammansättningen och gasnivån i stora områden (processkamrarnas storlek upp till 4 m breda och hundratals meter långa) är en nödvändighet för att slutligen maximera potentialen hos dessa processer i produktionen. I industrier som använder magnetronsputtningsprocesser är nya sensorer avsedda att ersätta de nuvarande sensorerna för övervakning av plasmautsläpp (PEM) och Lambda (λ) på grund av ökad påverkan på kvaliteten på processresultat och masspektrometrar och andra liknande dyra enheter på grund av mer överkomliga priser. Inom ramen för projektet planeras FoU-verksamhet, under vilken två nya sensorprototyper kommer att utvecklas, demonstreras och testas. Ett slutligt test av pilotversionerna av dessa produkter planeras också. (Swedish)
18 July 2022
0 references
Projekti käigus on Nova Fabrica eesmärk töötada välja kaks uut ülitäpset ja töökindlat seadet – andurid vaakumi tootmisprotsesside keskkonna mõõtmiseks, kasutades otseseid rakendusi päikesepaneelide, lameekraanide, arhitektuuriklaasi jms tootmisprotsessides. Andureid saab kasutada kõikides füüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) tehnoloogiatel põhinevates protsessides; reaktiivne Magnetron Sputtering (RMD) on väga oluline, sest see on turul juba laialdaselt kasutatav tehnoloogia, millel on märkimisväärne kasutamata potentsiaal masstootmises praeguste andurite tehniliste piirangute ja muutuste suhtes tundlikkuse tõttu. RMD protsessid on keskkonna suhtes eriti tundlikud, nii et gaasi koostise ja taseme kiire ja täpne analüüs ja kontroll suurtes piirkondades (protsessikambrite laius kuni 4 m ja sadade meetrite pikkus) on vajalik, et lõpuks maksimeerida nende protsesside potentsiaali tootmises. Tööstustes, kus kasutatakse magnetroni pihustamise protsesse, on uued andurid mõeldud asendama praeguseid plasmaheite seire (PEM) ja Lambda (λ) andureid, kuna mõju protsessi tulemuse kvaliteedile on suurenenud, ning massispektromeetrid ja muud sarnased kallid seadmed, mis on tingitud soodsamatest hindadest. Projekti raames on kavas läbi viia R & D tegevusi, mille käigus töötatakse välja, demonstreeritakse ja katsetatakse kahte uut anduri prototüüpi. Samuti on ette nähtud nende toodete katseversioonide lõplik katsetamine. (Estonian)
18 July 2022
0 references
Laisvės g. 44, Ignalina
0 references
Identifiers
J05-LVPA-K-01-0189
0 references