High resolution helium ion microscope with lithographic capabilities (Q3148881)
Jump to navigation
Jump to search
Project Q3148881 in Spain
| Language | Label | Description | Also known as |
|---|---|---|---|
| English | High resolution helium ion microscope with lithographic capabilities |
Project Q3148881 in Spain |
Statements
490,050.0 Euro
0 references
900,000.0 Euro
0 references
54.45 percent
0 references
1 January 2016
0 references
30 June 2018
0 references
INSTITUTO DE CIENCIAS FOTONICAS
0 references
8860
0 references
El microscopio de iones de helio (Helium Ion Microscope o HIM) es un nuevo tipo de microscopio que usa iones de helio para la creación de imágenes de superficie y análisis. Su funcionalidad es similar a la del microscopio de barrido, pero con la principal particularidad de usar iones de helio en vez de electrones. Gracias al hecho de que los iones de helio pueden enfocarse en un menor volumen y por consiguiente proporcionan un volumen de interacción superficial mucho menor comparado con el de los electrones, se pueden conseguir imágenes con mucha mayor resolución, contraste (para distintos materiales) y profundidad de campo. _x000D_ _x000D_ La mayor resolución es debida principalmente a la tecnología usada para la extracción de los iones de helio, que consiste en una aguja extremadamente afilada y un proceso que extrae los átomos de la fuente individualmente hasta que se consigue crear una pirámide formada por sólo 3 átomos en el ápice de la fuente. _x000D_ _x000D_ El HIM permite conseguir resoluciones de 0.3nm a energías de aceleración de 25-30kV y permite generar corrientes entre 1fA y 25pA. El HIM también tiene similitudes con el FIB (Focused Ion Beam), usando un haz focalizado de iones de helio en vez de galio. En el caso del FIB se usan iones de galio para fabricar nanoestructuras de 20nm de resolución mientras que en el caso del HIM se pueden conseguir resoluciones de tan solo 1nm. (Spanish)
0 references
The helium ion microscope (Helium Ion Microscope or HIM) is a new type of microscope that uses helium ions for surface imaging and analysis. Its functionality is similar to that of the scanning microscope, but with the main feature of using helium ions instead of electrons. Thanks to the fact that helium ions can focus on a lower volume and thus provide a much lower volume of surface interaction compared to electrons, images can be obtained with much higher resolution, contrast (for different materials) and depth of field. _x000D_ _x000D_ the highest resolution is mainly due to the technology used for the extraction of helium ions, which consists of an extremely sharp needle and a process that extracts the atoms from the source individually until a pyramid formed by only 3 atoms at the apex of the source is created. _x000D_ _x000D_ the HIM allows achieving resolutions of 0.3nm to acceleration energies of 25-30 kV and allows to generate currents between 1fA and 25pA. HIM also has similarities with Focused Ion Beam (IFF), using a focused beam of helium ions rather than gallium. In the case of FIB gallium ions are used to manufacture resolution 20nm nanostructures while in the case of HIM resolutions of only 1nm can be achieved. (English)
12 October 2021
0.8447597898703217
0 references
Le microscope à hélium ionique (HIM) est un nouveau type de microscope qui utilise des ions hélium pour l’imagerie et l’analyse de surface. Sa fonctionnalité est similaire à celle du microscope à balayage, mais avec la principale caractéristique de l’utilisation d’ions hélium au lieu d’électrons. Grâce au fait que les ions hélium peuvent se concentrer sur un volume inférieur et donc fournir un volume beaucoup plus faible d’interaction de surface par rapport aux électrons, les images peuvent être obtenues avec une résolution beaucoup plus élevée, un contraste (pour différents matériaux) et une profondeur de champ. _x000D_ _x000D_ la résolution la plus élevée est principalement due à la technologie utilisée pour l’extraction des ions hélium, qui consiste en une aiguille extrêmement pointue et un processus qui extrait les atomes de la source individuellement jusqu’à ce qu’une pyramide formée par seulement 3 atomes à l’apex de la source soit créée. _x000D_ _x000D_ le HIM permet d’atteindre des résolutions de 0,3nm à des énergies d’accélération de 25-30 kV et permet de générer des courants entre 1fA et 25pA. Il a également des similitudes avec le faisceau Ion focalisé (IFF), utilisant un faisceau concentré d’ions hélium plutôt que le gallium. Dans le cas des ions gallium FIB sont utilisés pour fabriquer des nanostructures de résolution 20nm, tandis que dans le cas des résolutions HIM de seulement 1nm peut être atteint. (French)
2 December 2021
0 references
Das Helium-Ionenmikroskop (Helium Ion Mikroskop oder HIM) ist ein neuartiges Mikroskop, das Heliumionen zur Oberflächenbildgebung und Analyse verwendet. Seine Funktionalität ist ähnlich der des Scanmikroskops, aber mit dem Hauptmerkmal der Verwendung von Heliumionen anstelle von Elektronen. Dank der Tatsache, dass Heliumionen sich auf ein geringeres Volumen konzentrieren und somit ein wesentlich geringeres Volumen der Oberflächeninteraktion im Vergleich zu Elektronen bieten können, können Bilder mit viel höherer Auflösung, Kontrast (für unterschiedliche Materialien) und Feldtiefe erhalten werden. _x000D_ _x000D_ die höchste Auflösung ist vor allem auf die Technologie zur Extraktion von Heliumionen zurückzuführen, die aus einer extrem scharfen Nadel und einem Prozess besteht, der die Atome einzeln aus der Quelle extrahiert, bis eine Pyramide entsteht, die aus nur 3 Atomen an der Spitze der Quelle gebildet wird. _x000D_ _x000D_ die HIM ermöglicht Auflösungen von 0,3nm zu Beschleunigungsenergien von 25-30 kV und ermöglicht die Erzeugung von Strömen zwischen 1fA und 25pA. Er hat auch Ähnlichkeiten mit Focused Ionenstrahl (IFF), mit einem fokussierten Strahl von Heliumionen anstatt Gallium. Im Falle von FIB Galliumionen werden zur Herstellung von Auflösung 20nm Nanostrukturen verwendet, während bei HIM Auflösungen von nur 1nm erreicht werden können. (German)
9 December 2021
0 references
De heliumionmicroscoop (Heliumion Microscope of HIM) is een nieuw type microscoop dat heliumionen gebruikt voor oppervlaktebeeldvorming en analyse. De functionaliteit is vergelijkbaar met die van de aftastenmicroscoop, maar met het belangrijkste kenmerk van het gebruik van heliumionen in plaats van elektronen. Dankzij het feit dat heliumionen zich op een lager volume kunnen concentreren en zo een veel lager volume aan oppervlakteinteractie kunnen bieden dan elektronen, kunnen beelden worden verkregen met veel hogere resolutie, contrast (voor verschillende materialen) en velddiepte. _x000D_ _x000D_ de hoogste resolutie is voornamelijk te wijten aan de technologie die wordt gebruikt voor de extractie van heliumionen, die bestaat uit een extreem scherpe naald en een proces dat de atomen afzonderlijk uit de bron haalt totdat een piramide gevormd wordt door slechts 3 atomen aan de top van de bron. _x000D_ _x000D_ de HIM maakt het bereiken van resoluties van 0,3nm aan versnellingsenergieën van 25-30 kV mogelijk en maakt het mogelijk om stromen tussen 1fA en 25pA te genereren. Hij heeft ook gelijkenissen met Focused Ion Beam (IFF), met behulp van een gerichte straal van helium ionen in plaats van gallium. In het geval van FIB galliumionen worden gebruikt om resolutie 20nm nanostructuren te vervaardigen, terwijl in het geval van HIM-resoluties van slechts 1nm kan worden bereikt. (Dutch)
17 December 2021
0 references
Il microscopio ionico dell'elio (Helio Ion Microscope o HIM) è un nuovo tipo di microscopio che utilizza ioni di elio per l'imaging e l'analisi di superficie. La sua funzionalità è simile a quella del microscopio a scansione, ma con la caratteristica principale di utilizzare gli ioni di elio invece degli elettroni. Grazie al fatto che gli ioni dell'elio possono concentrarsi su un volume inferiore e quindi fornire un volume di interazione superficiale molto più basso rispetto agli elettroni, le immagini possono essere ottenute con una risoluzione molto più elevata, contrasto (per materiali diversi) e profondità di campo. _x000D_ _x000D_ la massima risoluzione è dovuta principalmente alla tecnologia utilizzata per l'estrazione degli ioni di elio, che consiste in un ago estremamente affilato e in un processo che estrae gli atomi individualmente dalla sorgente fino alla creazione di una piramide formata da soli 3 atomi all'apice della sorgente. _x000D_ _x000D_ l'HIM consente di raggiungere risoluzioni di 0,3nm a energie di accelerazione di 25-30 kV e permette di generare correnti tra 1fA e 25pA. Ha anche somiglianze con Focused Ion Beam (IFF), utilizzando un fascio concentrato di ioni di elio piuttosto che gallio. Nel caso degli ioni di gallio FIB vengono utilizzati per la fabbricazione di nanostrutture di risoluzione 20nm, mentre nel caso di risoluzioni HIM di solo 1nm possono essere raggiunti. (Italian)
16 January 2022
0 references
Το μικροσκόπιο ιόντων ηλίου (Helium Ion Microscope ή HIM) είναι ένας νέος τύπος μικροσκοπίου που χρησιμοποιεί ιόντα ηλίου για επιφανειακή απεικόνιση και ανάλυση. Η λειτουργικότητα του είναι παρόμοια με εκείνη του μικροσκοπίου σάρωσης, αλλά με το κύριο χαρακτηριστικό της χρήσης ιόντων ηλίου αντί ηλεκτρονίων. Χάρη στο γεγονός ότι τα ιόντα ηλίου μπορούν να επικεντρωθούν σε μικρότερο όγκο και έτσι να παρέχουν πολύ μικρότερο όγκο επιφανειακής αλληλεπίδρασης σε σύγκριση με τα ηλεκτρόνια, οι εικόνες μπορούν να ληφθούν με πολύ υψηλότερη ανάλυση, αντίθεση (για διαφορετικά υλικά) και βάθος πεδίου. _x000D_ _x000D_ η υψηλότερη ανάλυση οφείλεται κυρίως στην τεχνολογία που χρησιμοποιείται για την εξαγωγή ιόντων ηλίου, η οποία αποτελείται από μια εξαιρετικά απότομη βελόνα και μια διαδικασία που εξάγει τα άτομα από την πηγή ξεχωριστά μέχρι να δημιουργηθεί μια πυραμίδα που σχηματίζεται από μόνο 3 άτομα στην κορυφή της πηγής. _x000D_ _x000D_ το HIM επιτρέπει την επίτευξη αναλύσεων 0,3nm σε ενέργειες επιτάχυνσης 25-30 kV και επιτρέπει τη δημιουργία ρευμάτων μεταξύ 1fA και 25pA. Έχει επίσης ομοιότητες με το Focused Ion Beam (IFF), χρησιμοποιώντας μια εστιασμένη δέσμη ιόντων ηλίου και όχι γάλλιο. Στην περίπτωση ιόντων γάλλιου FIB χρησιμοποιούνται για την κατασκευή νανοδομών ανάλυσης 20nm, ενώ στην περίπτωση των ψηφισμάτων HIM μπορούν να επιτευχθούν μόνο 1nm. (Greek)
17 August 2022
0 references
Heliumionmikroskopet (Helium Ionmikroskop eller HIM) er en ny type mikroskop, der bruger heliumioner til overfladebilleddannelse og -analyse. Dens funktionalitet ligner den af scanning mikroskop, men med det vigtigste træk ved at bruge helium ioner i stedet for elektroner. Takket være det faktum, at heliumioner kan fokusere på et lavere volumen og dermed give en meget lavere volumen af overfladeinteraktion sammenlignet med elektroner, kan billeder opnås med meget højere opløsning, kontrast (for forskellige materialer) og dybde af felt. _x000D_ _x000D_ den højeste opløsning skyldes hovedsagelig den teknologi, der anvendes til udvinding af heliumioner, som består af en ekstremt skarp nål og en proces, der udtrækker atomerne fra kilden individuelt, indtil en pyramide dannet af kun 3 atomer på toppen af kilden er skabt. _x000D_ _x000D_ HIM gør det muligt at opnå opløsninger på 0,3 nm til accelerationsenergier på 25-30 kV og gør det muligt at generere strømme mellem 1fA og 25pA. Han har også ligheder med fokuseret ion Beam (IFF), ved hjælp af en fokuseret stråle af helium ioner snarere end gallium. I tilfælde af FIB anvendes galliumioner til fremstilling af opløsning 20 nm nanostrukturer, mens der i tilfælde af HIM-opløsninger kun kan opnås 1 nm. (Danish)
17 August 2022
0 references
Heliumionimikroskooppi (Helium Ion Microscope tai HIM) on uudentyyppinen mikroskooppi, joka käyttää heliumioneja pinnan kuvantamiseen ja analysointiin. Sen toiminnallisuus on samanlainen kuin skannausmikroskoopilla, mutta pääominaisuutena on käyttää heliumioneja elektronien sijaan. Kiitos siitä, että heliumionit voivat keskittyä pienempään tilavuuteen ja siten tarjota paljon pienemmän pinnan vuorovaikutuksen kuin elektronit, kuvia voidaan saada paljon korkeammalla resoluutiolla, kontrastilla (eri materiaaleilla) ja kentän syvyydellä. _x000D_ _x000D_ korkein resoluutio johtuu pääasiassa heliumin ionien uuttamiseen käytetystä tekniikasta, joka koostuu erittäin terävästä neulasta ja prosessista, joka irrottaa atomit lähteestä erikseen, kunnes syntyy pyramidi, joka muodostuu vain 3 atomeista lähteen kärjessä. _x000D_ _x000D_ HIM mahdollistaa 0,3nm: n resoluution saavuttamisen kiihtyvyysenergiaan 25–30 kV ja mahdollistaa virran tuottamisen välillä 1fA ja 25pA. Hän on myös yhtäläisyyksiä Focused Ion Beam (IFF), käyttäen keskittynyt palkki helium ionien sijaan gallium. FIB gallium-ioneja käytetään resoluution 20nm nanorakenteiden valmistukseen, kun taas HIM-resoluution ollessa kyseessä vain 1nm voidaan saavuttaa. (Finnish)
17 August 2022
0 references
Il-mikroskopju tal-joni tal-elju (Helium Ion Microscope jew HIM) huwa tip ġdid ta’ mikroskopju li juża joni tal-elju għall-immaġni u l-analiżi tal-wiċċ. Il-funzjonalità tagħha hija simili għal dik tal-mikroskopju skennjar, iżda bil-karatteristika ewlenija ta ‘użu joni elju minflok ta’ elettroni. Grazzi għall-FACT Li joni elju jistgħu jiffokaw fuq volum aktar baxx u b’hekk jipprovdu volum ħafna aktar baxx ta ‘interazzjoni tal-wiċċ meta mqabbla ma’ elettroni, immaġini jistgħu jinkisbu b’riżoluzzjoni ferm ogħla, kuntrast (għall-materjali differenti) u l-fond tal-qasam. _x000D_ _x000D_ l-ogħla riżoluzzjoni hija prinċipalment minħabba t-teknoloġija użata għall-estrazzjoni ta ‘joni tal-elju, li tikkonsisti minn labra estremament qawwija u proċess li jestratta l-atomi mis-sors individwalment sakemm piramida ffurmata minn biss 3 atomi fil-apiċi tas-sors hija maħluqa. _x000D_ _x000D_ l-HIM jippermetti li jinkisbu riżoluzzjonijiet ta’ 0.3nm għal enerġiji ta’ aċċellerazzjoni ta’ 25–30 kV u jippermetti li jiġu ġġenerati kurrenti bejn 1fA u 25pA. Huwa għandu wkoll similaritajiet ma Focused Ion Beam (IFF), bl-użu ta ‘raġġ iffukat ta’ joni elju aktar milli gallju. Fil-każ ta’ joni tal-gallju FIB jintużaw għall-manifattura tan-nanostrutturi tar-riżoluzzjoni 20nm filwaqt li fil-każ ta’ riżoluzzjonijiet tal-HIM ta’ 1nm biss jistgħu jinkisbu. (Maltese)
17 August 2022
0 references
Hēlija jonu mikroskops (Hēlija jonu mikroskops jeb HIM) ir jauna veida mikroskops, kas virsmas attēlveidošanai un analīzei izmanto hēlija jonus. Tās funkcionalitāte ir līdzīga skenēšanas mikroskopa funkcionalitātei, bet ar galveno funkciju elektronu vietā izmantojot hēlija jonus. Pateicoties tam, ka hēlija joni var koncentrēties uz mazāku tilpumu un tādējādi nodrošināt daudz mazāku virsmas mijiedarbības apjomu, salīdzinot ar elektroniem, attēlus var iegūt ar daudz augstāku izšķirtspēju, kontrastu (dažādiem materiāliem) un lauka dziļumu. _x000D_ _x000D_ augstākā izšķirtspēja galvenokārt ir saistīta ar tehnoloģiju, ko izmanto hēlija jonu ekstrakcijai, kas sastāv no ārkārtīgi asas adatas un procesa, kas atsevišķi ekstrahē atomus no avota, līdz tiek izveidota piramīda, ko veido tikai 3 atomi avota virsotnē. _x000D_ _x000D_ HIM ļauj sasniegt 0,3 nm līdz paātrinājuma enerģijas 25–30 kV izšķirtspēju un ļauj ģenerēt strāvu starp 1fA un 25pA. Viņam ir arī līdzības ar Focused Ion Beam (IFF), izmantojot fokusētu hēlija jonu gaismu, nevis galliju. FIB gallija jonus izmanto, lai ražotu izšķirtspēju 20nm nanostruktūras, bet HIM gadījumā var sasniegt tikai 1 nm izšķirtspēju. (Latvian)
17 August 2022
0 references
Heliový iónový mikroskop (Helium Ion Microscope alebo HIM) je nový typ mikroskopu, ktorý používa ióny hélia na povrchové zobrazovanie a analýzu. Jeho funkčnosť je podobná funkcii skenovacieho mikroskopu, ale s hlavnou vlastnosťou používania iónov hélia namiesto elektrónov. Vďaka tomu, že ióny hélia sa môžu sústrediť na nižší objem a tým poskytnúť oveľa nižší objem povrchovej interakcie v porovnaní s elektrónmi, obrázky možno získať s oveľa vyšším rozlíšením, kontrastom (pre rôzne materiály) a hĺbkou poľa. _x000D_ _x000D_ najvyššie rozlíšenie je spôsobené hlavne technológiou používanou na extrakciu iónov hélia, ktorá pozostáva z extrémne ostrej ihly a procesu, ktorý extrahuje atómy zo zdroja individuálne, až kým sa nevytvorí pyramída tvorená iba 3 atómami na vrchole zdroja. _x000D_ _x000D_ HIM umožňuje dosiahnuť rozlíšenie 0,3nm na zrýchlenie energie 25 – 30 kV a umožňuje generovať prúdy medzi 1fA a 25pA. On má tiež podobnosti s Focused Ion Beam (IFF), pomocou koncentrovaného lúča héliových iónov, skôr než gália. V prípade FIB gáliových iónov sa používajú na výrobu rozlíšenia 20 nm nanoštruktúr, zatiaľ čo v prípade HIM rozlíšenie iba 1nm možno dosiahnuť. (Slovak)
17 August 2022
0 references
Is cineál nua micreascóp é an micreascóp ian héiliam (Micreascóp Helium Ion nó HIM) a úsáideann iain héiliam le haghaidh íomháithe dromchla agus anailíse. Tá a fheidhmiúlacht cosúil le feidhmiúlacht an mhicreascóp scanadh, ach leis an bpríomhghné a bhaineann le hiain héiliam a úsáid in ionad leictreoin. A bhuíochas leis an bhfíric gur féidir le hiain héiliam díriú ar thoirt níos ísle agus dá bhrí sin toirt i bhfad níos ísle d’idirghníomhú dromchla a sholáthar i gcomparáid le leictreoin, is féidir íomhánna a fháil le réiteach i bhfad níos airde, codarsnacht (d’ábhair éagsúla) agus doimhneacht réimse. _x000D_ _x000D_ tá an réiteach is airde go príomha mar gheall ar an teicneolaíocht a úsáidtear chun iain héiliam a eastóscadh, atá comhdhéanta de shnáthaid thar a bheith géar agus próiseas a eastóscann na hadaimh ón bhfoinse ina n-aonar go dtí go gcruthófar pirimid a chruthaíonn ach 3 adamh ag apex na foinse. _x000D_ _x000D_ ceadaíonn an HIM rúin 0.3nm a bhaint amach le fuinneamh luasghéarú 25-30 kV agus ceadaíonn sé sruthanna a ghiniúint idir 1fA agus 25pA. Tá cosúlachtaí aige freisin le bhíoma ian fócasaithe (IFF), ag baint úsáide as bhíoma dírithe ar iain héiliam seachas gailliam. I gcás iain gailliam FIB a úsáidtear chun nanastruchtúir taifeach 20nm a mhonarú agus i gcás rún HIM ní féidir ach 1nm a bhaint amach. (Irish)
17 August 2022
0 references
Heliový iontový mikroskop (Helium iontový mikroskop nebo HIM) je nový typ mikroskopu, který používá heliové ionty pro povrchové zobrazování a analýzu. Jeho funkčnost je podobná funkci skenovacího mikroskopu, ale s hlavním rysem použití heliových iontů namísto elektronů. Díky tomu, že heliové ionty se mohou zaměřit na nižší objem a tak poskytují mnohem nižší objem povrchové interakce ve srovnání s elektrony, lze obrazy získat s mnohem vyšším rozlišením, kontrastem (pro různé materiály) a hloubkou pole. _x000D_ _x000D_ nejvyšší rozlišení je způsobeno především technologií použitou pro extrakci helia iontů, která se skládá z extrémně ostré jehly a procesu, který extrahuje atomy ze zdroje jednotlivě až do vytvoření pyramidy tvořené pouze třemi atomy na vrcholu zdroje. _x000D_ _x000D_ HIM umožňuje dosáhnout rozlišení 0,3 nm až zrychlení energie 25–30 kV a umožňuje generovat proudy mezi 1fA a 25pA. On má také podobnosti s Focused Ion Beam (IFF), pomocí soustředěného paprsku helia iontů spíše než gallium. V případě FIB gallium iontů se používají k výrobě rozlišení 20nm nanostruktury, zatímco v případě HIM rozlišení pouze 1 nm lze dosáhnout. (Czech)
17 August 2022
0 references
O microscópio de íon de hélio (Hélio Ion Microscope ou HIM) é um novo tipo de microscópio que usa íons de hélio para imagens e análises de superfície. Sua funcionalidade é semelhante à do microscópio de varredura, mas com a principal característica de usar íons de hélio em vez de elétrons. Graças ao fato de que íons de hélio podem se concentrar em um volume mais pequeno e, assim, fornecer um volume muito mais pequeno de interação superficial em comparação com elétrons, imagens podem ser obtidas com resolução muito maior, contraste (para diferentes materiais) e profundidade de campo. _x000D_ _x000D_ a maior resolução se deve principalmente à tecnologia utilizada para a extração de íons de hélio, que consiste em uma agulha extremamente afiada e um processo que extrai os átomos da fonte individualmente até que uma pirâmide formada por apenas 3 átomos no ápice da fonte seja criada. _x000D_ _x000D_ o HIM permite alcançar resoluções de 0.3nm para energias de aceleração de 25-30 kV e permite gerar correntes entre 1fA e 25pA. Ele também tem semelhanças com Focused Ion Beam (IFF), usando um feixe focado de íons de hélio em vez de gálio. No caso de íons FIB gálio são usados para fabricar a resolução de 20nm nanoestruturas, enquanto no caso de resoluções HIM de apenas 1nm pode ser alcançado. (Portuguese)
17 August 2022
0 references
Heeliumioonmikroskoop (Helium Ion Microscope ehk HIM) on uut tüüpi mikroskoop, mis kasutab heeliumioone pinnakujundamiseks ja analüüsimiseks. Selle funktsionaalsus sarnaneb skaneeriva mikroskoobi funktsionaalsusega, kuid selle peamine omadus on kasutada elektronide asemel heeliumioone. Tänu sellele, et heeliumioonid võivad keskenduda väiksemale mahule ja seega pakkuda palju väiksemat pinna interaktsiooni mahtu võrreldes elektronidega, saab pilte saada palju suurema eraldusvõimega, kontrastiga (eri materjalide puhul) ja välja sügavusega. _x000D_ _x000D_ kõrgeim eraldusvõime tuleneb peamiselt tehnoloogiast, mida kasutatakse heeliumiioonide ekstraheerimiseks, mis koosneb äärmiselt teravast nõelast ja protsessist, mis eraldab aatomid allikast individuaalselt, kuni luuakse ainult 3 aatomist moodustuv püramiid allika tipus. _x000D_ _x000D_ HIM võimaldab saavutada 0,3nm resolutsioone, et kiirendada 25–30 kV energiaid ja genereerida voolu 1fA ja 25pA vahel. Tal on ka sarnasusi Focused Ion Beam (IFF), kasutades keskendunud tala heelium ioone asemel gallium. FIB galliumioone kasutatakse eraldusvõime 20nm nanostruktuuride tootmiseks, samas kui HIM-i puhul on võimalik saavutada ainult 1 nm resolutsioon. (Estonian)
17 August 2022
0 references
A hélium-ion mikroszkóp (Helium Ion mikroszkóp vagy HIM) egy új típusú mikroszkóp, amely héliumionokat használ felszíni képalkotáshoz és elemzéshez. Funkciója hasonló a szkennelő mikroszkópéhoz, de a fő jellemzője, hogy héliumionokat használ elektronok helyett. Annak a ténynek köszönhetően, hogy a héliumionok kisebb térfogatra összpontosíthatnak, és így sokkal kisebb felületi kölcsönhatást biztosítanak az elektronokhoz képest, a képek sokkal nagyobb felbontással, kontraszttal (különböző anyagok esetében) és mélységgel érhetők el. _x000D_ _x000D_ a legnagyobb felbontás főleg a héliumionok kivonására használt technológiának köszönhető, amely egy rendkívül éles tűből és egy olyan folyamatból áll, amely az atomokat egyenként kivonja a forrásból, amíg a forrás csúcsán mindössze 3 atomból álló piramis létre nem jön. _x000D_ _x000D_ a HIM lehetővé teszi 0,3 nm felbontás elérését 25–30 kV gyorsulási energiákhoz, és lehetővé teszi az 1fA és 25pA közötti áramok generálását. Ő is hasonlóságokat mutat a Focused Ion Beam (IFF), a koncentrált sugár hélium ionok helyett gallium. A FIB galliumionok esetében 20nm-es felbontású nanoszerkezetek gyártására, míg HIM esetén csak 1 nm-es felbontás érhető el. (Hungarian)
17 August 2022
0 references
Хелиевият йонен микроскоп (Helium Ion Microscope или HIM) е нов тип микроскоп, който използва хелиеви йони за повърхностно изобразяване и анализ. Неговата функционалност е подобна на тази на сканиращия микроскоп, но с основната характеристика на използването на хелиеви йони вместо електрони. Благодарение на факта, че хелиевите йони могат да се съсредоточат върху по-малък обем и по този начин да осигурят много по-малък обем на повърхностното взаимодействие в сравнение с електроните, изображенията могат да бъдат получени с много по-висока разделителна способност, контраст (за различни материали) и дълбочина на полето. _x000D_ _x000D_ най-високата разделителна способност се дължи главно на технологията, използвана за извличане на хелиеви йони, която се състои от изключително остра игла и процес, който извлича атомите от източника индивидуално, докато се създаде пирамида, образувана само от 3 атома на върха на източника. _x000D_ _x000D_ HIM позволява постигане на разделителна способност от 0,3nm до ускорени енергии от 25—30 kV и позволява да се генерират токове между 1fA и 25pA. Той също има прилики с Focused Ion Beam (IFF), използвайки фокусиран лъч хелиеви йони, а не галий. В случая на FIB галиеви йони се използват за производство на наноструктури с разделителна способност 20nm, докато в случая на HIM резолюции от само 1nm могат да бъдат постигнати. (Bulgarian)
17 August 2022
0 references
Helio jonų mikroskopas (Helium jonų mikroskopas arba HIM) yra naujo tipo mikroskopas, kuriame naudojami helio jonai paviršiaus vizualizavimui ir analizei. Jo funkcionalumas yra panašus į skenavimo mikroskopą, tačiau pagrindinis bruožas – naudoti helio jonus, o ne elektronus. Dėl to, kad helio jonai gali sutelkti dėmesį į mažesnį tūrį ir taip suteikti daug mažesnį paviršiaus sąveikos tūrį, palyginti su elektronais, vaizdus galima gauti su daug didesne raiška, kontrastu (skirtingoms medžiagoms) ir lauko gyliu. _x000D_ _x000D_ didžiausia skiriamoji geba yra daugiausia dėl technologijos, naudojamos helio jonų ekstrahavimui, kurią sudaro labai aštri adata ir procesas, kuris išskiria atomus iš šaltinio atskirai, kol sukuriama piramidė, kurią sudaro tik 3 atomai šaltinio viršūnėje. _x000D_ _x000D_ HIM leidžia pasiekti 0,3nm skiriamąją gebą iki 25–30 kV pagreičio energijos ir leidžia generuoti sroves tarp 1fA ir 25pA. Jis taip pat turi panašumų su Focused Ion Beam (IFF), naudojant orientuotą spindulį helio jonų, o ne galio. FIB galio jonai naudojami 20 nm skiriamosios gebos nanostruktūroms gaminti, o HIM skiriamosios gebos atveju – tik 1 nm. (Lithuanian)
17 August 2022
0 references
Helij ionski mikroskop (Helium Ion Microscope ili HIM) je nova vrsta mikroskopa koji koristi helij ione za površinsko snimanje i analizu. Njegova funkcionalnost je slična onoj mikroskopa za skeniranje, ali s glavnom značajkom korištenja iona helija umjesto elektrona. Zahvaljujući činjenici da se ioni helija mogu usredotočiti na manji volumen i time osigurati mnogo manji volumen površinske interakcije u usporedbi s elektronima, slike se mogu dobiti s mnogo većom rezolucijom, kontrastom (za različite materijale) i dubinom polja. _x000D_ _x000D_ najviša razlučivost uglavnom je posljedica tehnologije koja se koristi za ekstrakciju iona helija, koja se sastoji od iznimno oštre igle i procesa koji izdvaja atome iz izvora pojedinačno dok se ne stvori piramida koju formiraju samo 3 atoma na vrhu izvora. _x000D_ _x000D_ HIM omogućuje postizanje razlučivosti od 0,3nm do ubrzanja energije od 25 – 30 kV i omogućuje generiranje struje između 1fA i 25pA. On također ima sličnosti s Focused Ion Beam (IFF), koristeći fokusiranu zraku helija iona umjesto galija. U slučaju FIB galij iona koriste se za proizvodnju razlučivosti 20nm nanostruktura, dok se u slučaju HIM razlučivosti od samo 1nm može postići. (Croatian)
17 August 2022
0 references
Heliumjonmikroskopet (Heliumjonmikroskop eller HIM) är en ny typ av mikroskop som använder heliumjoner för ytavbildning och analys. Dess funktionalitet liknar den i skanningsmikroskopet, men med huvudfunktionen att använda heliumjoner istället för elektroner. Tack vare det faktum att heliumjoner kan fokusera på en lägre volym och därmed ge en mycket lägre volym av ytinteraktion jämfört med elektroner, kan bilder erhållas med mycket högre upplösning, kontrast (för olika material) och fältdjup. _x000D_ _x000D_ den högsta upplösningen beror främst på den teknik som används för extraktion av heliumjoner, som består av en extremt skarp nål och en process som extraherar atomerna individuellt från källan tills en pyramid som bildas av endast 3 atomer vid källans spets skapas. _x000D_ _x000D_ HIM gör det möjligt att uppnå upplösningar på 0,3nm till accelerationsenergier på 25–30 kV och gör det möjligt att generera strömmar mellan 1fA och 25pA. Han har också likheter med Focused Ion Beam (IFF), med en fokuserad stråle heliumjoner snarare än gallium. När det gäller FIB galliumjoner används för att tillverka upplösning 20nm nanostrukturer medan när det gäller HIM resolutioner på endast 1nm kan uppnås. (Swedish)
17 August 2022
0 references
Microscopul ionic heliu (Helium Ion Microscop sau HIM) este un nou tip de microscop care utilizează ioni de heliu pentru imagistica și analiza suprafeței. Funcționalitatea sa este similară cu cea a microscopului de scanare, dar cu caracteristica principală de a folosi ioni de heliu în loc de electroni. Datorită faptului că ionii de heliu se pot concentra pe un volum mai mic și astfel pot oferi un volum mult mai mic de interacțiune de suprafață în comparație cu electronii, imaginile pot fi obținute cu rezoluție mult mai mare, contrast (pentru diferite materiale) și adâncimea câmpului. _x000D_ _x000D_ cea mai înaltă rezoluție se datorează în principal tehnologiei utilizate pentru extracția ionilor de heliu, care constă într-un ac extrem de ascuțit și un proces care extrage atomii din sursă individual până când se creează o piramidă formată din doar 3 atomi la vârful sursei. _x000D_ _x000D_ HIM permite realizarea unor rezoluții de 0,3nm la energii de accelerare de 25-30 kV și permite generarea de curenți între 1fA și 25pA. El are, de asemenea, asemănări cu Focused Ion Beam (IFF), folosind un fascicul concentrat de ioni de heliu, mai degrabă decât galiu. În cazul ionilor de galiu FIB se utilizează pentru fabricarea nanostructurilor cu rezoluție de 20nm, în timp ce în cazul rezoluțiilor HIM de numai 1nm se poate obține. (Romanian)
17 August 2022
0 references
Helijev ionski mikroskop (Helium Ion Microscope ali HIM) je nova vrsta mikroskopa, ki uporablja helijske ione za površinsko slikanje in analizo. Njegova funkcionalnost je podobna funkciji optičnega mikroskopa, vendar z glavno značilnostjo uporabe helijevih ionov namesto elektronov. Zahvaljujoč dejstvu, da se helijski ioni lahko osredotočijo na manjši volumen in tako zagotavljajo veliko manjši volumen površinske interakcije v primerjavi z elektroni, je slike mogoče dobiti z veliko večjo ločljivostjo, kontrastom (za različne materiale) in globinsko ostrino. _x000D_ _x000D_ najvišja ločljivost je predvsem posledica tehnologije, ki se uporablja za ekstrakcijo helijevih ionov, ki je sestavljena iz izjemno ostre igle in procesa, ki izvleče atome iz vira posamezno, dokler se ne ustvari piramida, ki jo tvorijo le trije atomi na vrhu vira. _x000D_ _x000D_ HIM omogoča doseganje ločljivosti 0,3nm za pospeševanje energije 25–30 kV in omogoča ustvarjanje tokov med 1fA in 25pA. Prav tako ima podobnosti s fokusiranim ionskim žarkom (IFF) z uporabo osredotočenega žarka helijevih ionov in ne z galijem. V primeru FIB galijevih ionov se uporabljajo za proizvodnjo ločljivosti 20nm nanostrukture, v primeru ločljivosti HIM samo 1 nm pa se lahko doseže. (Slovenian)
17 August 2022
0 references
Mikroskop jonowy helu (Helium Ion Microscope lub HIM) jest nowym rodzajem mikroskopu, który wykorzystuje jony helu do obrazowania powierzchni i analizy. Jego funkcjonalność jest podobna do funkcji mikroskopu skanującego, ale z główną cechą stosowania jonów helu zamiast elektronów. Dzięki temu, że jony helu mogą skupiać się na mniejszej objętości, a tym samym zapewniają znacznie mniejszą objętość interakcji powierzchniowej w porównaniu z elektronami, obrazy można uzyskać z dużo większą rozdzielczością, kontrastem (dla różnych materiałów) i głębokością pola. _x000D_ _x000D_ najwyższa rozdzielczość wynika głównie z technologii stosowanej do ekstrakcji jonów helu, która składa się z niezwykle ostrej igły i procesu, który ekstrahuje atomy ze źródła indywidualnie do momentu utworzenia piramidy utworzonej przez tylko 3 atomy na wierzchu źródła. _x000D_ _x000D_ HIM pozwala osiągnąć rozdzielczość 0.3nm do przyspieszenia energii 25-30 kV i pozwala na generowanie prądów między 1fA a 25pA. Ma również podobieństwa do Focused Ion Beam (IFF), używając skupionej wiązki jonów helu, a nie galu. W przypadku jonów galu FIB stosuje się do produkcji nanostruktur o rozdzielczości 20 nm, podczas gdy w przypadku rozdzielczości HIM można osiągnąć tylko 1 nm. (Polish)
17 August 2022
0 references
Castelldefels
0 references
20 December 2023
0 references
Identifiers
ICFO15-EE-3767
0 references