Technology for integrated circuits with 2 nm – IT2 electronic node (Q3098983)

From EU Knowledge Graph
Jump to navigation Jump to search
Project Q3098983 in Romania
Language Label Description Also known as
English
Technology for integrated circuits with 2 nm – IT2 electronic node
Project Q3098983 in Romania

    Statements

    0 references
    4,800,000.0 Romanian Leu
    0 references
    960,000.0 Euro
    13 September 2021
    0 references
    6,000,000.0 Romanian Leu
    0 references
    1,200,000.0 Euro
    13 September 2021
    0 references
    80.0 percent
    0 references
    6 July 2020
    0 references
    30 September 2023
    0 references
    UNIVERSITATEA POLITEHNICA DIN BUCURESTI
    0 references
    0 references

    44°26'10.10"N, 26°6'9.79"E
    0 references
    Obiectivul general al proiectului Tehnologie pentru circuite integrate cu nod electronic de 2 nm - (IT2), acceptat la finantare in cadrul ECSEL Joint Undertaking este explorarea, descoperirea, dezvoltarea și demonstrarea opțiunilor tehnologice necesare pentru realizarea tehnologiei logice CMOS de 2nm. Acest obiectiv implica urmatoarele activitati: Litografie, Explorare de Procese și Module și Metrologie. Obiectivul principal pentru activitățile de Metrologie este de a dezvolta în continuare capacitățile metrologice, de caracterizare și inspecție, având sensibilitate și precizie suficiente pentru a studia etapele procesului nodului de 2nm și pentru a stabili corelații între parametri și rezultatele procesului la nivelul plachetei pentru nodul de 2nm. Mai mult, metrologia care trebuie dezvoltată trebuie să fie suficient de rapidă pentru a genera date relevante statistic, necesare pentru a cuantifica stochastica proceselor și interdependențele existente în proiectarea proceselor. Expertiza acumulată in cadrul acestui proiect la nivel ştiinţific, tehnologic şi aplicativ va contribui la extinderea cunoştinţelor în acest domeniu la Universitatea Politehnica din Bucuresti - Centrul pentru Ştiinţa Suprafeţei şi Nanotehnologie. Scopul si obiectivele proiectului sunt compatibile: cu obiectivul specific al axei prioritare 1 “Cercetare, dezvoltare tehnologica si inovare (CDI) in sprijinul competitivitatii economice si dezvoltarii afacerilor” si cu obiectivele actiunii 1.2 “Cresterea participarii romanesti in cercetarea la nivelul UE” si in functie de apelul de proiect POC-A.1-A.1.1.3-H-2016 mai exact proiect de tip RO-ECSEL. Obiectivele proiectului şi rezultatele obţinute se încadrează în domeniul de specializare inteligenta 4-Eco-nanotehnologii şi materiale avansate. In cadrul proiectului IT2 se realizeaza activitati de cercetare industriala care inseamna cercetare sau investigatie critica planificata in scopul dobandirii de cunostinte si componente noi pentru elaborarea unor produse, procese sau servicii pentru realizarea imbunatatirii produselor sau sistemelor deja existente. Aceasta cuprinde crearea de parti componente pentru sisteme complexe si poate include constructia de prototipuri in laborator sau intr-un mediu cu interfete simulate ale sistemelor existente, atunci cand acest lucru este necesar pentru cercetarea industriala si, in special, pentru validarea tehnologiilor generice. In cadrul proiectului IT2, UPB este implicata in activitatea de METROLOGIE fiind o activitate indispensabila atingerii obiectivul principal al proiectului. Activitatile si sub-activitatile UPB constau intr-o paleta larga de investigatii fizico-chimice si imagistice, realizate cu tehnici experimentale de varf ce exista in dotarea laboratoarelor UPB. Aceste investigatii, sunt critice deoarece contribuie direct la designul si implementarea noilor tehnologii pentru circuite integrate cu nod 2 nm. Aceste investigatii creeaza cunostintele directe pe diverse proces (Romanian)
    0 references
    The general objective of the project Technology for integrated circuits with 2 nm – (IT2) electronic node, accepted for funding at ECSEL Joint Undertaking is to explore, discover, develop and demonstrate the technological options needed to achieve 2nm CMOS logic technology. This objective involves the following activities: Lithography, Exploration of Processes and Modules and Metrology. The main objective for Metrology activities is to further develop metrology, characterisation and inspection capabilities with sufficient sensitivity and accuracy to study the stages of the 2nm node process and to establish correlations between parameters and process results at the 2nm node level. Furthermore, the metrology to be developed must be sufficiently rapid to generate statistically relevant data necessary to quantify the stochasticity of processes and the interdependencies existing in the design of processes. The expertise gained in this project at scientific, technological and applicative level will contribute to the expansion of knowledge in this field at the Polytechnic University of Bucharest – Center for Surface Science and Nanotechnology. The aim and objectives of the project are compatible: with the specific objective of Priority Axis 1 “Research, Technological Development and Innovation (RDI) in support of economic competitiveness and business development” and with the objectives of Action 1.2 “Enhancing Romanian participation in EU research” and according to the call for POC-A.1-A.1.1.3-H-2016 project, more precisely RO-ECSEL project. The objectives of the project and the results obtained fall within the field of 4-Eco-nanotechnologies and advanced materials specialisation. The IT2 project performs industrial research activities that mean research or critical investigation planned in order to acquire new knowledge and components for the development of products, processes or services to achieve the improvement of already existing products or systems. This includes the creation of component parts for complex systems and may include the construction of prototypes in the laboratory or in an environment with simulated interfaces of existing systems, when this is necessary for industrial research and, in particular, for the validation of enabling technologies. Within the IT2 project, UPB is involved in METROLOGY activity being an indispensable activity to achieve the main objective of the project. The activities and sub-activities of CPO consist of a wide range of physico-chemical and imaging investigations, performed with top experimental techniques that exist in the facilities of CPO laboratories. These investigations are critical because they directly contribute to the design and implementation of new technologies for integrated circuits with 2 nm node. These investigations create direct knowledge on various processes (English)
    16 September 2021
    0.2168496835006977
    0 references
    L’objectif général du projet «Technologie des circuits intégrés à nœud électronique 2 nm — (IT2)», accepté pour un financement par l’entreprise commune ECSEL, est d’explorer, de découvrir, de développer et de démontrer les options technologiques nécessaires à l’obtention d’une technologie logique CMOS de 2 nm. Cet objectif comprend les activités suivantes: Lithographie, exploration des processus et des modules et métrologie. L’objectif principal des activités de métrologie est de développer davantage les capacités de métrologie, de caractérisation et d’inspection avec une sensibilité et une précision suffisantes pour étudier les étapes du processus de noeud 2nm et d’établir des corrélations entre les paramètres et les résultats des processus au niveau des nœuds de 2nm. En outre, la métrologie à développer doit être suffisamment rapide pour générer des données statistiquement pertinentes pour quantifier la stochastique des processus et les interdépendances existant dans la conception des processus. L’expertise acquise dans ce projet au niveau scientifique, technologique et applicatif contribuera à l’expansion des connaissances dans ce domaine à l’Université Polytechnique de Bucarest — Centre des Sciences de Surface et de Nanotechnologie. Le but et les objectifs du projet sont compatibles: avec l’objectif spécifique de l’axe prioritaire 1 «Recherche, développement technologique et innovation (RDI) à l’appui de la compétitivité économique et du développement des entreprises» et avec les objectifs de l’action 1.2 «Renforcer la participation de la Roumanie à la recherche de l’UE» et conformément à l’appel en faveur du projet POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, plus précisément le projet RO-ECSEL. Les objectifs du projet et les résultats obtenus relèvent du domaine des 4-Eco-nanotechnologies et de la spécialisation des matériaux avancés. Le projet IT2 exécute des activités de recherche industrielle, c’est-à-dire des recherches ou des recherches critiques planifiées afin d’acquérir de nouvelles connaissances et composants pour le développement de produits, de procédés ou de services afin d’améliorer les produits ou les systèmes existants. Cela inclut la création de composants pour des systèmes complexes et peut inclure la construction de prototypes en laboratoire ou dans un environnement avec des interfaces simulées de systèmes existants, lorsque cela est nécessaire à la recherche industrielle et, en particulier, à la validation des technologies habilitantes. Dans le cadre du projet IT2, UPB est impliqué dans l’activité METROLOGY étant une activité indispensable pour atteindre l’objectif principal du projet. Les activités et sous-activités du CPO consistent en une vaste gamme d’études physico-chimiques et d’imagerie, réalisées avec les meilleures techniques expérimentales qui existent dans les installations des laboratoires d’HPB. Ces recherches sont essentielles parce qu’elles contribuent directement à la conception et à la mise en œuvre de nouvelles technologies pour les circuits intégrés à nœud de 2 nm. Ces enquêtes créent des connaissances directes sur divers processus (French)
    27 November 2021
    0 references
    Das allgemeine Ziel des Projekts Technologie für integrierte Schaltungen mit 2 nm – (IT2) elektronischer Knoten, das bei ECSEL zur Finanzierung angenommen wurde, besteht darin, die technologischen Optionen zu erkunden, zu entdecken, zu entwickeln und zu demonstrieren, die erforderlich sind, um die 2nm-CMOS-Logiktechnologie zu erreichen. Dieses Ziel umfasst folgende Tätigkeiten: Lithographie, Erforschung von Prozessen und Modulen und Metrologie. Hauptziel der Metrologie-Aktivitäten ist die Weiterentwicklung von Mess-, Charakterisierungs- und Inspektionskapazitäten mit ausreichender Empfindlichkeit und Genauigkeit, um die Phasen des 2nm-Knotenprozesses zu untersuchen und Korrelationen zwischen Parametern und Prozessergebnissen auf der 2nm-Knotenebene herzustellen. Darüber hinaus muss die zu entwickelnde Metrologie so schnell wie möglich sein, um statistisch relevante Daten zu generieren, die notwendig sind, um die Stochastik von Prozessen und die bei der Gestaltung von Prozessen bestehenden Interdependenzen zu quantifizieren. Die in diesem Projekt gewonnene Expertise auf wissenschaftlicher, technologischer und applikativer Ebene wird zur Erweiterung des Wissens in diesem Bereich an der Polytechnischen Universität Bukarest – Zentrum für Oberflächenwissenschaften und Nanotechnologie – beitragen. Ziel und Ziele des Projekts sind miteinander vereinbar: mit dem spezifischen Ziel der Prioritätsachse 1 „Forschung, technologische Entwicklung und Innovation (FEI) zur Förderung der wirtschaftlichen Wettbewerbsfähigkeit und der Unternehmensentwicklung“ und mit den Zielen von Aktion 1.2 „Förderung der Beteiligung Rumäniens an der EU-Forschung“ und gemäß der Aufforderung zum Projekt POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, genauer gesagt RO-ECSEL-Projekt. Die Ziele des Projekts und die erzielten Ergebnisse fallen in den Bereich 4-Eco-Nanotechnologie und fortgeschrittene Materialspezialisierung. Das IT2-Projekt führt industrielle Forschungstätigkeiten durch, die Forschung oder kritische Untersuchung beinhalten, um neue Kenntnisse und Komponenten für die Entwicklung von Produkten, Prozessen oder Dienstleistungen zu erwerben, um die Verbesserung bereits vorhandener Produkte oder Systeme zu erreichen. Dies umfasst die Erstellung von Bauteilen für komplexe Systeme und kann den Bau von Prototypen im Labor oder in einer Umgebung mit simulierten Schnittstellen bestehender Systeme umfassen, wenn dies für die industrielle Forschung und insbesondere für die Validierung von grundlegenden Technologien erforderlich ist. Im Rahmen des IT2-Projekts ist UPB an METROLOGY-Aktivitäten beteiligt, die eine unverzichtbare Tätigkeit zur Erreichung des Hauptziels des Projekts sind. Die Tätigkeiten und Teilaktivitäten von CPO bestehen aus einer Vielzahl von physikalisch-chemischen und bildgebenden Untersuchungen, die mit den besten experimentellen Techniken durchgeführt werden, die in den Einrichtungen von CPO-Labors existieren. Diese Untersuchungen sind von entscheidender Bedeutung, da sie direkt zur Konzeption und Implementierung neuer Technologien für integrierte Schaltungen mit 2 nm Knoten beitragen. Diese Untersuchungen schaffen direktes Wissen über verschiedene Prozesse (German)
    1 December 2021
    0 references
    De algemene doelstelling van het project Technologie voor geïntegreerde schakelingen met een elektronisch knooppunt van 2 nm (IT2), dat door de gemeenschappelijke onderneming ECSEL voor financiering is aanvaard, is het verkennen, ontdekken, ontwikkelen en demonstreren van de technologische opties die nodig zijn om 2nm CMOS-logicatechnologie te realiseren. Deze doelstelling omvat de volgende activiteiten: Lithografie, Exploratie van Processen en Modules en Metrologie. De belangrijkste doelstelling voor metrologische activiteiten is het verder ontwikkelen van metrologie-, karakteriserings- en inspectiecapaciteiten met voldoende gevoeligheid en nauwkeurigheid om de fasen van het 2nm-knooppuntproces te bestuderen en correlaties tussen parameters en procesresultaten op 2nm-knooppuntniveau vast te stellen. Bovendien moet de te ontwikkelen metrologie snel genoeg zijn om statistisch relevante gegevens te genereren die nodig zijn om de stochasticiteit van de processen en de onderlinge afhankelijkheden in het ontwerp van processen te kwantificeren. De expertise die in dit project op wetenschappelijk, technologisch en toepassingsniveau is opgedaan, zal bijdragen tot de uitbreiding van kennis op dit gebied aan de Polytechnische Universiteit van Boekarest — Center for Surface Science and Nanotechnology. Het doel en de doelstellingen van het project zijn verenigbaar: met de specifieke doelstelling van prioritaire as 1 „Onderzoek, technologische ontwikkeling en innovatie (RDI) ter ondersteuning van het economisch concurrentievermogen en de ontwikkeling van het bedrijfsleven” en met de doelstellingen van actie 1.2 „Versterking van de Roemeense deelname aan EU-onderzoek” en overeenkomstig de oproep voor POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, meer bepaald het RO-ECSEL-project. De doelstellingen van het project en de verkregen resultaten vallen onder de specialisatie 4-Eco-nanotechnologie en geavanceerde materialen. Het IT2-project voert industriële onderzoeksactiviteiten uit die onderzoek of kritisch onderzoek omvatten dat is gepland om nieuwe kennis en componenten te verwerven voor de ontwikkeling van producten, processen of diensten om de verbetering van reeds bestaande producten of systemen te bereiken. Dit omvat de creatie van onderdelen voor complexe systemen en kan de bouw van prototypes in het laboratorium of in een omgeving met gesimuleerde interfaces van bestaande systemen omvatten, wanneer dit noodzakelijk is voor industrieel onderzoek en met name voor de validering van ontsluitende technologieën. Binnen het IT2-project is UPB betrokken bij METROLOGY-activiteit als een onmisbare activiteit om de hoofddoelstelling van het project te bereiken. De activiteiten en subactiviteiten van CPO bestaan uit een breed scala aan fysisch-chemische en beeldvormingsonderzoeken, uitgevoerd met topexperimentele technieken die bestaan in de faciliteiten van CPO-laboratoria. Deze onderzoeken zijn van cruciaal belang omdat ze rechtstreeks bijdragen aan het ontwerp en de implementatie van nieuwe technologieën voor geïntegreerde schakelingen met 2 nm knooppunt. Deze onderzoeken creëren directe kennis over verschillende processen (Dutch)
    5 December 2021
    0 references
    L'obiettivo generale del progetto Tecnologia per circuiti integrati con nodo elettronico 2 nm — (IT2), accettato per il finanziamento presso l'impresa comune ECSEL, è quello di esplorare, scoprire, sviluppare e dimostrare le opzioni tecnologiche necessarie per realizzare la tecnologia logica CMOS 2nm. Questo obiettivo comprende le seguenti attività: Litografia, Esplorazione di Processi e Moduli e Metrologia. L'obiettivo principale delle attività metrologiche è quello di sviluppare ulteriormente le capacità di metrologia, caratterizzazione e ispezione con sufficiente sensibilità e precisione per studiare le fasi del processo del nodo 2nm e stabilire correlazioni tra parametri e risultati di processo a livello di nodo 2nm. Inoltre, la metrologia da sviluppare deve essere sufficientemente rapida da generare dati statisticamente rilevanti necessari per quantificare la stocasticità dei processi e le interdipendenze esistenti nella progettazione dei processi. L'esperienza acquisita in questo progetto a livello scientifico, tecnologico e applicativo contribuirà all'espansione delle conoscenze in questo campo presso il Politecnico di Bucarest — Center for Surface Science and Nanotechnology. Lo scopo e gli obiettivi del progetto sono compatibili: con l'obiettivo specifico dell'asse prioritario 1 "Ricerca, sviluppo tecnologico e innovazione (RSI) a sostegno della competitività economica e dello sviluppo delle imprese" e con gli obiettivi dell'azione 1.2 "Rafforzare la partecipazione della Romania alla ricerca dell'UE" e secondo l'invito per il progetto POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, più precisamente il progetto RO-ECSEL. Gli obiettivi del progetto e i risultati ottenuti rientrano nel campo delle 4-econanotecnologie e della specializzazione avanzata dei materiali. Il progetto IT2 svolge attività di ricerca industriale che significano ricerca o indagine critica pianificata al fine di acquisire nuove conoscenze e componenti per lo sviluppo di prodotti, processi o servizi per ottenere il miglioramento di prodotti o sistemi già esistenti. Ciò comprende la creazione di componenti per sistemi complessi e può comprendere la costruzione di prototipi in laboratorio o in un ambiente con interfacce simulate di sistemi esistenti, quando ciò è necessario per la ricerca industriale e, in particolare, per la convalida delle tecnologie abilitanti. Nell'ambito del progetto IT2, UPB è coinvolta nell'attività METROLOGY essendo un'attività indispensabile per raggiungere l'obiettivo principale del progetto. Le attività e le sottoattività del CPO consistono in un'ampia gamma di indagini fisico-chimiche e di imaging, effettuate con le migliori tecniche sperimentali esistenti nelle strutture dei laboratori di CPO. Queste indagini sono critiche perché contribuiscono direttamente alla progettazione e all'implementazione di nuove tecnologie per circuiti integrati con nodo da 2 nm. Queste indagini creano conoscenze dirette su vari processi (Italian)
    12 January 2022
    0 references
    El objetivo general del proyecto Tecnología para circuitos integrados con nodo electrónico de 2 nm — (IT2), aceptado para su financiación en la Empresa Común ECSEL, es explorar, descubrir, desarrollar y demostrar las opciones tecnológicas necesarias para lograr la tecnología lógica CMOS de 2 nm. Este objetivo incluye las siguientes actividades: Litografía, Exploración de Procesos y Módulos y Metrología. El objetivo principal de las actividades de Metrología es seguir desarrollando las capacidades de metrología, caracterización e inspección con suficiente sensibilidad y precisión para estudiar las etapas del proceso del nodo de 2 nm y establecer correlaciones entre los parámetros y los resultados del proceso a nivel de 2 nm. Además, la metrología a desarrollar debe ser lo suficientemente rápida como para generar datos estadísticamente relevantes necesarios para cuantificar la estocasticidad de los procesos y las interdependencias existentes en el diseño de los procesos. La experiencia adquirida en este proyecto a nivel científico, tecnológico y aplicado contribuirá a la expansión del conocimiento en este campo en la Universidad Politécnica de Bucarest — Centro de Ciencias de la Superficie y Nanotecnología. La finalidad y los objetivos del proyecto son compatibles: con el objetivo específico del eje prioritario 1 «Investigación, desarrollo tecnológico e innovación (I+D+i) en apoyo de la competitividad económica y el desarrollo empresarial» y con los objetivos de la acción 1.2 «Mejorar la participación rumana en la investigación de la UE» y de acuerdo con la convocatoria del proyecto POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, más concretamente el proyecto RO-ECSEL. Los objetivos del proyecto y los resultados obtenidos se inscriben en el ámbito de las 4-eco-nanotecnologías y la especialización de materiales avanzados. El proyecto IT2 realiza actividades de investigación industrial que significan investigación o investigación crítica planificada con el fin de adquirir nuevos conocimientos y componentes para el desarrollo de productos, procesos o servicios para lograr la mejora de productos o sistemas ya existentes. Esto incluye la creación de componentes para sistemas complejos y puede incluir la construcción de prototipos en el laboratorio o en un entorno con interfaces simuladas de sistemas existentes, cuando sea necesario para la investigación industrial y, en particular, para la validación de tecnologías facilitadoras. Dentro del proyecto IT2, UPB participa en la actividad de METROLOGÍA siendo una actividad indispensable para alcanzar el objetivo principal del proyecto. Las actividades y subactividades de la CPO consisten en una amplia gama de investigaciones físico-químicas e imágenes, realizadas con las mejores técnicas experimentales que existen en las instalaciones de los laboratorios de CPO. Estas investigaciones son críticas porque contribuyen directamente al diseño e implementación de nuevas tecnologías para circuitos integrados con nodo de 2 nm. Estas investigaciones crean conocimiento directo sobre diversos procesos (Spanish)
    13 January 2022
    0 references
    Ühisettevõttes ECSEL rahastamiseks heaks kiidetud projekti „Tehnoloogia 2 nm – elektroonilise sõlmega integraallülituste jaoks“üldeesmärk on uurida, avastada, arendada ja tutvustada 2nm CMOS loogikatehnoloogia saavutamiseks vajalikke tehnoloogilisi võimalusi. See eesmärk hõlmab järgmisi tegevusi: Litograafia, protsesside ja moodulite uurimine ja metroloogia. Metroloogiategevuse peamine eesmärk on arendada metroloogiat, iseloomustamis- ja kontrollivõimet piisava tundlikkuse ja täpsusega, et uurida 2 nm sõlme protsessi etappe ning teha kindlaks parameetrite ja protsessi tulemuste korrelatsioon 2 nm sõlme tasemel. Lisaks peab väljatöötatav metroloogia olema piisavalt kiire, et saada statistiliselt asjakohaseid andmeid, mis on vajalikud protsesside stohhastilisuse ja protsesside kavandamisel esinevate vastastikuste seoste kvantifitseerimiseks. Selle projekti teaduslikul, tehnoloogilisel ja rakenduslikul tasandil omandatud teadmised aitavad kaasa teadmiste laiendamisele selles valdkonnas Bukaresti Polütehnilises Ülikoolis – Pinnateaduse ja nanotehnoloogia keskus. Projekti eesmärk ja eesmärgid on kooskõlas: prioriteetse suuna „Teadusuuringud, tehnoloogiaarendus ja innovatsioon majandusliku konkurentsivõime ja ettevõtluse arendamise toetamiseks“erieesmärgiga ning meetme 1.2 „Rumeenia osaluse suurendamine ELi teadusuuringutes“eesmärkidega ning vastavalt projekti POC-A.1-A.1.1.3-H-2016 konkursikutsele, täpsemalt RO-ECSELi projektile. Projekti eesmärgid ja saavutatud tulemused kuuluvad 4-öko-nanotehnoloogia ja kõrgtehnoloogiliste materjalide spetsialiseerumise valdkonda. Projektiga IT2 viiakse läbi rakendusuuringuid, mis tähendavad teadusuuringuid või kriitilist uurimist, mis on kavandatud selleks, et omandada uusi teadmisi ja komponente toodete, protsesside või teenuste arendamiseks, et saavutada juba olemasolevate toodete või süsteemide täiustamine. See hõlmab keerukate süsteemide komponentide loomist ja võib hõlmata prototüüpide ehitamist laboris või olemasolevate süsteemide simuleeritud liidestega keskkonnas, kui see on vajalik rakendusuuringuteks ja eelkõige progressi võimaldava tehnoloogia valideerimiseks. IT2 projekti raames osaleb UPB METROLOGY tegevuses, mis on projekti põhieesmärgi saavutamiseks hädavajalik. Toorpalmiõli tegevus ja alltegevused koosnevad mitmesugustest füüsikalis-keemilistest ja kujutise uuringutest, mida tehakse toorpalmiõli laborites olemasolevate parimate katsemeetoditega. Need uuringud on kriitilise tähtsusega, sest need aitavad otseselt kaasa 2 nm sõlmega integraallülituste uute tehnoloogiate väljatöötamisele ja rakendamisele. Need uurimised loovad otseseid teadmisi erinevate protsesside kohta (Estonian)
    3 August 2022
    0 references
    Bendrasis projekto „Technologija integriniams grandynams su 2 nm – (IT2) elektroniniu mazgu“, kurį galima finansuoti bendrojoje įmonėje ECSEL, tikslas – ištirti, atrasti, plėtoti ir demonstruoti technologines galimybes, reikalingas 2 nm CMOS loginei technologijai pasiekti. Šis tikslas apima šią veiklą: Litografija, procesų ir modulių tyrinėjimas ir metrologija. Pagrindinis metrologijos veiklos tikslas – toliau plėtoti metrologijos, apibūdinimo ir tikrinimo pajėgumus pakankamai jautriai ir tiksliai, kad būtų galima ištirti 2 nm mazgo proceso etapus ir nustatyti parametrų ir proceso rezultatų koreliaciją 2 nm mazgo lygmeniu. Be to, metrologija, kuri turi būti plėtojama, turi būti pakankamai greita, kad būtų galima surinkti statistiškai svarbius duomenis, reikalingus procesų stochastiškumui ir procesų struktūros tarpusavio priklausomybei kiekybiškai įvertinti. Patirtis, įgyta šiame projekte moksliniu, technologiniu ir taikomuoju lygiu, prisidės prie žinių šioje srityje plėtros Bukarešto politechnikos universitete – Paviršiaus mokslo ir nanotechnologijų centre. Projekto tikslas ir tikslai yra suderinami: 1 prioritetinės krypties „Moksliniai tyrimai, technologinė plėtra ir inovacijos remiant ekonomikos konkurencingumą ir verslo plėtrą“ konkretus tikslas ir 1.2 veiksmo „Rumunijos dalyvavimo ES moksliniuose tyrimuose skatinimas“ tikslai ir kvietimas teikti paraiškas dėl projekto POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, tiksliau – RO-ECSEL projekto. Projekto tikslai ir gauti rezultatai patenka į 4-eko-nanotechnologijų ir pažangiųjų medžiagų specializacijos sritį. IT2 projektas vykdo pramoninius mokslinius tyrimus, t. y. planuojamus mokslinius tyrimus arba kritinius tyrimus, siekiant įgyti naujų žinių ir komponentų produktams, procesams ar paslaugoms kurti, kad būtų galima patobulinti jau esamus produktus ar sistemas. Tai apima sudėtingų sistemų sudedamųjų dalių kūrimą ir gali apimti prototipų kūrimą laboratorijoje arba aplinkoje su imituojamomis esamų sistemų sąsajomis, kai tai būtina pramoniniams tyrimams ir ypač didelio poveikio technologijų patvirtinimui. Pagal IT2 projektą UPB dalyvauja METROLOGY veikloje, kuri yra būtina pagrindiniam projekto tikslui pasiekti. NAA veiklą ir subveiklą sudaro įvairūs fiziniai, cheminiai ir vizualizavimo tyrimai, atliekami taikant geriausius eksperimentinius metodus, taikomus NAA laboratorijose. Šie tyrimai yra labai svarbūs, nes jie tiesiogiai prisideda prie naujų technologijų, skirtų integriniams grandynams su 2 nm mazgu, kūrimo ir įgyvendinimo. Šie tyrimai suteikia tiesioginių žinių apie įvairius procesus (Lithuanian)
    3 August 2022
    0 references
    Opći je cilj projekta Tehnologija za integrirane sklopove s elektroničkim čvorom od 2 nm – (IT2), koji je prihvaćen za financiranje u zajedničkom poduzeću ECSEL, istražiti, otkriti, razviti i pokazati tehnološke mogućnosti potrebne za postizanje logičke tehnologije od 2nm CMOS. Taj cilj uključuje sljedeće aktivnosti: Litografija, Istraživanje procesa i modula i mjeriteljstva. Glavni cilj aktivnosti mjeriteljstva je daljnji razvoj mjeriteljstva, karakterizacije i inspekcijskih sposobnosti uz dovoljnu osjetljivost i točnost za proučavanje faza procesa 2nm čvorova i uspostavljanje korelacija između parametara i rezultata procesa na razini čvorova 2nm. Nadalje, mjeriteljstvo koje treba razviti mora biti dovoljno brzo za generiranje statistički relevantnih podataka potrebnih za kvantificiranje stohastičnosti procesa i međuovisnosti koje postoje u oblikovanju postupaka. Stručno znanje stečeno u ovom projektu na znanstvenoj, tehnološkoj i aplikativnoj razini doprinijet će širenju znanja u tom području na Veleučilištu u Bukureštu – Centru za površinsku znanost i nanotehnologiju. Cilj i ciljevi projekta su kompatibilni: s posebnim ciljem prioritetne osi 1 „Istraživanje, tehnološki razvoj i inovacije (RDI) kao potpora gospodarskoj konkurentnosti i razvoju poslovanja” i s ciljevima mjere 1.2 „Jačanje sudjelovanja Rumunjske u istraživanju EU-a” i prema pozivu za POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, točnije projekt RO-ECSEL. Ciljevi projekta i dobiveni rezultati spadaju u područje 4-Eco-nanotehnologije i specijalizacije naprednih materijala. U okviru projekta IT2 provode se aktivnosti industrijskog istraživanja koje podrazumijevaju planirana istraživanja ili kritička istraživanja kako bi se stekla nova znanja i komponente za razvoj proizvoda, procesa ili usluga radi poboljšanja postojećih proizvoda ili sustava. To uključuje stvaranje sastavnih dijelova za složene sustave i može uključivati izradu prototipova u laboratoriju ili u okruženju sa simuliranim sučeljima postojećih sustava, kada je to potrebno za industrijsko istraživanje i, posebno, za validaciju razvojnih tehnologija. U okviru projekta IT2 UPB je uključen u to da je METROLOGY aktivnost nezamjenjiva aktivnost za postizanje glavnog cilja projekta. Aktivnosti i podaktivnosti sirovog palminog ulja sastoje se od širokog raspona fizikalno-kemijskih istraživanja i istraživanja snimanja, koja se provode vrhunskim eksperimentalnim tehnikama koje postoje u objektima laboratorija za sirovo palmino ulje. Ta su istraživanja ključna jer izravno doprinose osmišljavanju i primjeni novih tehnologija za integrirane sklopove s čvorom od 2 nm. Te istrage stvaraju izravno znanje o različitim procesima (Croatian)
    3 August 2022
    0 references
    Γενικός στόχος του έργου Τεχνολογία ολοκληρωμένων κυκλωμάτων με ηλεκτρονικό κόμβο 2 nm — (IT2), που έγινε αποδεκτός για χρηματοδότηση από την Κοινή Επιχείρηση ECSEL, είναι η διερεύνηση, η ανακάλυψη, η ανάπτυξη και η επίδειξη των τεχνολογικών επιλογών που απαιτούνται για την επίτευξη λογικής τεχνολογίας CMOS 2nm. Ο στόχος αυτός περιλαμβάνει τις ακόλουθες δραστηριότητες: Λιθογραφία, Εξερεύνηση Διαδικασιών και Ενοτήτων και Μετρολογία. Κύριος στόχος των δραστηριοτήτων μετρολογίας είναι η περαιτέρω ανάπτυξη ικανοτήτων μετρολογίας, χαρακτηρισμού και επιθεώρησης με επαρκή ευαισθησία και ακρίβεια για τη μελέτη των σταδίων της διαδικασίας κόμβων 2nm και τη δημιουργία συσχετισμών μεταξύ παραμέτρων και αποτελεσμάτων της διαδικασίας σε επίπεδο κόμβου 2nm. Επιπλέον, η προς ανάπτυξη μετρολογία πρέπει να είναι αρκετά ταχεία ώστε να παράγει στατιστικά συναφή δεδομένα που είναι απαραίτητα για την ποσοτικοποίηση της στοχαστικότητας των διεργασιών και των αλληλεξαρτήσεων που υπάρχουν στον σχεδιασμό των διεργασιών. Η εμπειρία που αποκτήθηκε σε αυτό το έργο σε επιστημονικό, τεχνολογικό και εφαρμόσιμο επίπεδο θα συμβάλει στην επέκταση των γνώσεων σε αυτόν τον τομέα στο Πολυτεχνείο του Βουκουρεστίου — Center for Surface Science and Nanotechnology. Ο σκοπός και οι στόχοι του έργου είναι συμβατοί: με τον ειδικό στόχο του άξονα προτεραιότητας 1 «Έρευνα, Τεχνολογική Ανάπτυξη και Καινοτομία (RDI) για τη στήριξη της οικονομικής ανταγωνιστικότητας και της επιχειρηματικής ανάπτυξης» και με τους στόχους της Δράσης 1.2 «Ενίσχυση της συμμετοχής της Ρουμανίας στην έρευνα της ΕΕ» και σύμφωνα με την πρόσκληση για το έργο POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, πιο συγκεκριμένα το έργο RO-ECSEL. Οι στόχοι του σχεδίου και τα αποτελέσματα που επιτεύχθηκαν εμπίπτουν στον τομέα της 4-οικο-νανοτεχνολογίας και της εξειδίκευσης προηγμένων υλικών. Το έργο IT2 εκτελεί δραστηριότητες βιομηχανικής έρευνας που σημαίνουν έρευνα ή κριτική έρευνα που έχει προγραμματιστεί για την απόκτηση νέων γνώσεων και συστατικών στοιχείων για την ανάπτυξη προϊόντων, διαδικασιών ή υπηρεσιών με σκοπό την επίτευξη βελτίωσης ήδη υφιστάμενων προϊόντων ή συστημάτων. Αυτό περιλαμβάνει τη δημιουργία κατασκευαστικών στοιχείων για σύνθετα συστήματα και μπορεί να περιλαμβάνει την κατασκευή πρωτοτύπων στο εργαστήριο ή σε περιβάλλον με προσομοιωμένες διεπαφές υφιστάμενων συστημάτων, όταν αυτό είναι απαραίτητο για τη βιομηχανική έρευνα και, ειδικότερα, για την επικύρωση τεχνολογιών γενικής εφαρμογής. Στο πλαίσιο του έργου IT2, η UPB συμμετέχει στη δραστηριότητα METROLOGY ως απαραίτητη δραστηριότητα για την επίτευξη του κύριου στόχου του έργου. Οι δραστηριότητες και οι επιμέρους δραστηριότητες του ακατέργαστου φοινικέλαιου αποτελούνται από ένα ευρύ φάσμα φυσικοχημικών και απεικονιστικών ερευνών, οι οποίες διεξάγονται με κορυφαίες πειραματικές τεχνικές που υπάρχουν στις εγκαταστάσεις των εργαστηρίων ακατέργαστου φοινικέλαιου. Οι έρευνες αυτές είναι κρίσιμες διότι συμβάλλουν άμεσα στον σχεδιασμό και την εφαρμογή νέων τεχνολογιών για ολοκληρωμένα κυκλώματα με κόμβο 2 nm. Οι έρευνες αυτές δημιουργούν άμεση γνώση των διαφόρων διαδικασιών (Greek)
    3 August 2022
    0 references
    Všeobecným cieľom projektu Technológia pre integrované obvody s elektronickým uzolom 2 nm – (IT2), ktorý bol prijatý na financovanie v spoločnom podniku ECSEL, je preskúmať, objavovať, rozvíjať a demonštrovať technologické možnosti potrebné na dosiahnutie 2 nm logickej technológie CMOS. Tento cieľ zahŕňa tieto činnosti: Litografia, prieskum procesov a modulov a metrológia. Hlavným cieľom metrologických činností je ďalší rozvoj metrologických, charakterizačných a inšpekčných schopností s dostatočnou citlivosťou a presnosťou na štúdium fáz procesu uzla 2nm a stanovenie korelácií medzi parametrami a výsledkami procesu na úrovni uzla 2nm. Okrem toho, metrológia, ktorá sa má vyvinúť, musí byť dostatočne rýchla na to, aby generovala štatisticky relevantné údaje potrebné na kvantifikáciu stochasticity procesov a vzájomnej závislosti existujúcej pri navrhovaní procesov. Odborné znalosti získané v rámci tohto projektu na vedeckej, technologickej a aplikatívnej úrovni prispejú k rozšíreniu vedomostí v tejto oblasti na Polytechnickej univerzite v Bukurešti – Centrum povrchovej vedy a nanotechnológie. Cieľ a ciele projektu sú zlučiteľné: s osobitným cieľom prioritnej osi 1 „Výskum, technologický rozvoj a inovácie (RDI) na podporu hospodárskej konkurencieschopnosti a rozvoja podnikania“ a s cieľmi akcie 1.2 „Zvýšenie účasti Rumunska na výskume EÚ“ a podľa výzvy na projekt POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, presnejšie projektu RO-ECSEL. Ciele projektu a dosiahnuté výsledky patria do oblasti 4-ekologických nanotechnológií a špecializácie pokročilých materiálov. Projekt IT2 vykonáva činnosti priemyselného výskumu, ktoré znamenajú plánovaný výskum alebo kritické skúmanie s cieľom získať nové poznatky a komponenty na vývoj výrobkov, procesov alebo služieb s cieľom dosiahnuť zlepšenie už existujúcich výrobkov alebo systémov. To zahŕňa vytvorenie komponentov pre komplexné systémy a môže zahŕňať výstavbu prototypov v laboratóriu alebo v prostredí so simulovanými rozhraniami existujúcich systémov, ak je to potrebné pre priemyselný výskum a najmä pre validáciu podporných technológií. V rámci projektu IT2 sa UPB podieľa na činnosti METROLOGY, ktorá je nevyhnutnou činnosťou na dosiahnutie hlavného cieľa projektu. Činnosti a podčinnosti surového palmového oleja pozostávajú zo širokej škály fyzikálno-chemických a zobrazovacích vyšetrení vykonávaných špičkovými experimentálnymi technikami, ktoré existujú v zariadeniach laboratórií surového palmového oleja. Tieto vyšetrovania sú rozhodujúce, pretože priamo prispievajú k navrhovaniu a zavádzaniu nových technológií pre integrované obvody s uzlom 2 nm. Tieto vyšetrovania vytvárajú priame znalosti o rôznych procesoch. (Slovak)
    3 August 2022
    0 references
    ECSEL-yhteisyrityksessä rahoitettavaksi hyväksytty integroitujen piirien teknologia, jossa on 2 nm – (IT2) elektroninen solmu, on tutkia, löytää, kehittää ja demonstroida teknologisia vaihtoehtoja, joita tarvitaan kahden nm:n CMOS-logiikkateknologian saavuttamiseksi. Tämä tavoite käsittää seuraavat toimet: Litografia, prosessien ja moduulien tutkiminen ja metrologia. Metrologian toiminnan päätavoitteena on kehittää edelleen metrologiaa, karakterisointia ja tarkastusvalmiuksia riittävän herkästi ja tarkasti, jotta voidaan tutkia 2nm solmun prosessin vaiheita ja määrittää korrelaatiot parametrien ja prosessitulosten välillä 2nm solmutasolla. Lisäksi kehitettävän metrologian on oltava riittävän nopeaa, jotta voidaan tuottaa tilastollisesti merkityksellisiä tietoja, joita tarvitaan prosessien stokastisuuden ja prosessien suunnittelun keskinäisten riippuvuuksien kvantifioimiseksi. Tässä hankkeessa hankittu asiantuntemus tieteellisellä, teknologisella ja soveltavalla tasolla edistää alan tietämyksen laajentamista Bukarestin ammattikorkeakoulussa – Pintatieteen ja nanoteknologian keskus. Hankkeen tavoite ja tavoitteet ovat yhteensopivia: toimintalinjan 1 ”Tutkimus, teknologian kehittäminen ja innovointi talouden kilpailukyvyn ja yritystoiminnan kehittämisen tukemiseksi” erityistavoitteena ja toimen 1.2 ”Romanian EU:n tutkimukseen osallistumisen lisääminen” tavoitteiden mukaisesti ja POC-A.1-A.1.1.3-H-2016 -hanketta koskevan pyynnön, tarkemmin sanottuna RO-ECSEL-hankkeen, mukaisesti. Hankkeen tavoitteet ja saavutetut tulokset kuuluvat 4-eco-nanoteknologian ja kehittyneen materiaalien erikoistumisen alaan. IT2-hankkeessa toteutetaan teollista tutkimustoimintaa, jolla tarkoitetaan tutkimusta tai kriittistä tutkimusta, joka on suunniteltu uuden tietämyksen ja komponenttien hankkimiseksi tuotteiden, prosessien tai palvelujen kehittämiseksi jo olemassa olevien tuotteiden tai järjestelmien parantamiseksi. Tähän sisältyy komponenttien luominen monimutkaisia järjestelmiä varten, ja siihen voi sisältyä prototyyppien rakentaminen laboratorioon tai ympäristöön, jossa on olemassa olevien järjestelmien simuloituja rajapintoja, jos se on tarpeen teollista tutkimusta ja erityisesti mahdollistavien teknologioiden validointia varten. IT2-hankkeessa UPB osallistuu METROLOGY-toimintaan, joka on välttämätön toimi hankkeen päätavoitteen saavuttamiseksi. Raa’an palmuöljyn toiminta ja osatoimet koostuvat useista fysikaalis-kemiallisista ja kuvantamistutkimuksista, jotka suoritetaan raa’an palmuöljyn laboratorioiden laitoksissa käytössä olevilla parhailla kokeellisilla tekniikoilla. Nämä tutkimukset ovat kriittisiä, koska ne edistävät suoraan uusien teknologioiden suunnittelua ja käyttöönottoa integroituja piirejä varten, joissa on 2 nm solmua. Nämä tutkimukset luovat suoraa tietoa eri prosesseista (Finnish)
    3 August 2022
    0 references
    Ogólnym celem projektu Technologia układów scalonych o węźle elektronicznym 2 nm – (IT2), przyjętym do finansowania przez Wspólne Przedsięwzięcie ECSEL, jest badanie, odkrywanie, rozwijanie i demonstrowanie możliwości technologicznych niezbędnych do osiągnięcia technologii logicznej CMOS o długości 2 nm. Cel ten obejmuje następujące działania: Litografia, badania procesów i modułów oraz metrologia. Głównym celem działań w zakresie metrologii jest dalszy rozwój zdolności metrologii, charakterystyki i inspekcji z wystarczającą czułością i dokładnością, aby zbadać etapy procesu węzła 2 nm oraz ustalić korelacje między parametrami i wynikami procesu na poziomie węzła 2 nm. Ponadto opracowywana metrologia musi być wystarczająco szybka, aby wygenerować istotne statystycznie dane niezbędne do ilościowego określenia stochastyczności procesów i współzależności istniejących przy projektowaniu procesów. Wiedza zdobyta w tym projekcie na poziomie naukowym, technologicznym i aplikacyjnym przyczyni się do poszerzenia wiedzy w tej dziedzinie na Politechnice Uniwersytetu Bukaresztu – Centrum Nauk o Powierzchni i Nanotechnologii. Cel i cele projektu są zgodne: w ramach celu szczegółowego osi priorytetowej 1 „Badania naukowe, rozwój technologiczny i innowacje (RDI) na rzecz konkurencyjności gospodarczej i rozwoju przedsiębiorstw” oraz z celami działania 1.2 „Zwiększanie uczestnictwa Rumunii w badaniach naukowych UE” oraz zgodnie z zaproszeniem do realizacji projektu POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, a dokładniej projektu RO-ECSEL. Cele projektu i uzyskane wyniki wchodzą w zakres specjalizacji 4-Eko-nanotechnologii i zaawansowanych materiałów. Projekt IT2 prowadzi badania przemysłowe, które oznaczają badania lub krytyczne badania planowane w celu zdobycia nowej wiedzy i komponentów do rozwoju produktów, procesów lub usług w celu poprawy już istniejących produktów lub systemów. Obejmuje to tworzenie części składowych systemów złożonych i może obejmować budowę prototypów w laboratorium lub w środowisku z symulowanymi interfejsami istniejących systemów, jeżeli jest to niezbędne do badań przemysłowych, a w szczególności do walidacji technologii wspomagających. W ramach projektu IT2 UPB angażuje się w działalność METROLOGII jako działanie niezbędne do osiągnięcia głównego celu projektu. Działania i poddziałania CPO obejmują szeroki zakres badań fizykochemicznych i obrazowych, przeprowadzanych przy użyciu najlepszych technik eksperymentalnych istniejących w obiektach laboratoriów CPO. Badania te mają kluczowe znaczenie, ponieważ bezpośrednio przyczyniają się do projektowania i wdrażania nowych technologii dla układów scalonych o węźle 2 nm. Badania te tworzą bezpośrednią wiedzę na temat różnych procesów (Polish)
    3 August 2022
    0 references
    Az ECSEL Közös Vállalkozásnál finanszírozásra elfogadott, 2 nm – (IT2) elektronikus csomóponttal rendelkező integrált áramkörök technológiája projekt általános célkitűzése a 2nm-es CMOS logikai technológia eléréséhez szükséges technológiai lehetőségek feltárása, felfedezése, fejlesztése és bemutatása. Ez a célkitűzés a következő tevékenységeket foglalja magában: Litográfia, Folyamatok és Modulok feltárása és metrológia. A metrológiai tevékenységek fő célja a metrológiai, jellemzési és ellenőrzési képességek megfelelő érzékenységű és pontosságú továbbfejlesztése a 2nm csomóponti folyamat szakaszainak tanulmányozásához, valamint a paraméterek és a folyamat eredményei közötti korrelációk 2nm csomóponti szinten történő megállapításához. Ezenkívül a kidolgozandó metrológia kellően gyorsnak kell lennie ahhoz, hogy statisztikailag releváns adatokat generáljon, amelyek szükségesek a folyamatok sztochasztikájának és a folyamatok kialakítása során fennálló kölcsönös függőségeknek a számszerűsítéséhez. Az ebben a projektben tudományos, technológiai és alkalmazási szinten szerzett szakértelem hozzá fog járulni a Bukaresti Műszaki Egyetemen – Felülettudományi és nanotechnológiai központban ezen a területen szerzett ismeretek bővítéséhez. A projekt célja és célkitűzései összeegyeztethetők: a „Kutatás, technológiafejlesztés és innováció a gazdasági versenyképességet és a vállalkozásfejlesztést támogató 1. prioritási tengely” egyedi célkitűzésével, valamint az 1.2. „Románia uniós kutatásban való részvételének fokozása” intézkedés célkitűzéseivel, valamint a POC-A.1-A.1.1.3-H-2016 projektre vonatkozó felhívással, pontosabban a RO-ECSEL projekttel. A projekt célkitűzései és az elért eredmények a 4-öko-nanotechnológia és a fejlett anyagspecializáció területére tartoznak. Az IT2 projekt olyan ipari kutatási tevékenységeket végez, amelyek olyan kutatást vagy kritikus vizsgálatot jelentenek, amelynek célja, hogy új ismereteket és alkatrészeket szerezzen a termékek, folyamatok vagy szolgáltatások fejlesztéséhez a már meglévő termékek vagy rendszerek fejlesztése érdekében. Ez magában foglalja az összetett rendszerek alkotóelemeinek létrehozását, és magában foglalhatja prototípusok gyártását a laboratóriumban vagy a meglévő rendszerek szimulált interfészeivel rendelkező környezetben, amennyiben ez az ipari kutatáshoz és különösen az alaptechnológiák érvényesítéséhez szükséges. Az IT2 projekten belül az UPB részt vesz a METROLOGY tevékenységben, amely elengedhetetlen a projekt fő céljának eléréséhez. A CPO tevékenységei és altevékenységei a CPO laboratóriumok létesítményeiben létező csúcskísérleti technikákkal végzett fizikai-kémiai és képalkotó vizsgálatok széles skálájából állnak. Ezek a vizsgálatok azért kritikusak, mert közvetlenül hozzájárulnak a 2 nm csomóponttal rendelkező integrált áramkörök új technológiáinak tervezéséhez és bevezetéséhez. Ezek a vizsgálatok közvetlen ismereteket hoznak létre a különböző folyamatokról (Hungarian)
    3 August 2022
    0 references
    Obecným cílem projektu Technologie pro integrované obvody s elektronickým uzlem 2 nm – (IT2), který byl přijat pro financování ve společném podniku ECSEL, je prozkoumat, objevit, rozvíjet a demonstrovat technologické možnosti potřebné k dosažení 2nm CMOS logické technologie. Tento cíl zahrnuje tyto činnosti: Litografie, průzkum procesů a modulů a metrologie. Hlavním cílem metrologických činností je dále rozvíjet metrologii, charakterizaci a inspekční schopnosti s dostatečnou citlivostí a přesností pro studium fází procesu 2nm a stanovení korelace mezi parametry a výsledky procesu na úrovni uzlu 2nm. Kromě toho musí být vyvinutá metrologie dostatečně rychlá, aby bylo možné získat statisticky relevantní údaje nezbytné pro kvantifikaci stochasticity procesů a vzájemné závislosti při navrhování procesů. Odborné znalosti získané v tomto projektu na vědecké, technologické a aplikační úrovni přispějí k rozšíření znalostí v této oblasti na Polytechnické univerzitě v Bukurešti – Centrum pro povrchovou vědu a nanotechnologie. Cíl a cíle projektu jsou slučitelné: se specifickým cílem prioritní osy 1 „Výzkum, technologický rozvoj a inovace (VVI) na podporu hospodářské konkurenceschopnosti a rozvoje podniků“ a s cíli akce 1.2 „Posílení účasti Rumunska na výzkumu EU“ a podle výzvy k předkládání projektů POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, přesněji projektu RO-ECSEL. Cíle projektu a dosažené výsledky spadají do oblasti 4-Eco-nanotechnologie a pokročilé specializace materiálů. Projekt IT2 provádí činnosti aplikovaného výzkumu, které znamenají výzkum nebo kritické šetření plánované za účelem získání nových znalostí a komponent pro vývoj výrobků, procesů nebo služeb s cílem dosáhnout zlepšení již existujících výrobků nebo systémů. To zahrnuje vytváření součástí pro složité systémy a může zahrnovat konstrukci prototypů v laboratoři nebo v prostředí se simulovanými rozhraními stávajících systémů, je-li to nezbytné pro průmyslový výzkum, a zejména pro validaci základních technologií. V rámci projektu IT2 je UPB zapojena do činnosti METROLOGY, která je nepostradatelnou činností k dosažení hlavního cíle projektu. Činnosti a dílčí činnosti CPO sestávají z široké škály fyzikálně-chemických a zobrazovacích šetření prováděných pomocí špičkových experimentálních technik, které existují v zařízeních laboratoří CPO. Tato šetření jsou kritická, protože přímo přispívají k navrhování a zavádění nových technologií pro integrované obvody s uzlem 2 nm. Tato šetření vytvářejí přímé znalosti o různých procesech (Czech)
    3 August 2022
    0 references
    Projekta “Tehnoloģija integrālajām shēmām ar 2 nm — (IT2) elektronisko mezglu”, kas pieņemts finansēšanai kopuzņēmumā ECSEL, vispārējais mērķis ir izpētīt, atklāt, izstrādāt un demonstrēt tehnoloģiskās iespējas, kas vajadzīgas, lai sasniegtu 2nm CMOS loģikas tehnoloģiju. Šis mērķis ietver šādas darbības: Litogrāfija, procesu un moduļu izpēte un metroloģija. Metroloģijas darbību galvenais mērķis ir turpināt attīstīt metroloģiju, raksturojumu un pārbaudes spējas ar pietiekamu jutīgumu un precizitāti, lai izpētītu 2nm mezgla procesa posmus un noteiktu korelācijas starp parametriem un procesa rezultātiem 2nm mezgla līmenī. Turklāt metroloģijai, kas jāizstrādā, jābūt pietiekami ātrai, lai iegūtu statistiski būtiskus datus, kas vajadzīgi procesu stohasticitātes un procesu izstrādes savstarpējās atkarības kvantificēšanai. Šajā projektā gūtās zināšanas zinātniskā, tehnoloģiskā un pielietojuma līmenī veicinās zināšanu paplašināšanu šajā jomā Bukarestes Politehniskās universitātes Virsmas zinātnes un nanotehnoloģiju centrā. Projekta mērķis un uzdevumi ir saderīgi: ar 1. prioritārā virziena “Pētniecība, tehnoloģiju attīstība un inovācija (RDI) ekonomiskās konkurētspējas un uzņēmējdarbības attīstības atbalstam” konkrēto mērķi un 1.2. pasākuma “Rumānijas līdzdalības ES pētniecībā veicināšana” mērķiem un saskaņā ar uzaicinājumu iesniegt projektu POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, precīzāk — RO-ECSEL projektu. Projekta mērķi un iegūtie rezultāti attiecas uz 4-ekonanotehnoloģijām un progresīvu materiālu specializāciju. Ar IT2 projektu tiek veiktas rūpnieciskās izpētes darbības, kas nozīmē plānotu izpēti vai kritisku izpēti, lai iegūtu jaunas zināšanas un komponentus produktu, procesu vai pakalpojumu izstrādei, lai panāktu jau esošo produktu vai sistēmu uzlabošanu. Tas ietver komplekso sistēmu sastāvdaļu radīšanu un var ietvert prototipu izbūvi laboratorijā vai vidē ar simulētām esošo sistēmu saskarnēm, ja tas ir nepieciešams rūpnieciskajiem pētījumiem un jo īpaši pamattehnoloģiju validācijai. Projekta IT2 ietvaros UPB piedalās METROLOĢIJAS aktivitātēs, kas ir neaizstājama aktivitāte projekta galvenā mērķa sasniegšanai. CPO darbības un apakšdarbības ietver plašu fizikāli ķīmisko un attēlveidošanas pētījumu klāstu, ko veic ar visaugstākajām eksperimentālajām metodēm, kas pastāv CPO laboratoriju telpās. Šie pētījumi ir kritiski svarīgi, jo tie tieši veicina jaunu integrālo shēmu ar 2 nm mezglu tehnoloģiju izstrādi un ieviešanu. Šīs izmeklēšanas rada tiešas zināšanas par dažādiem procesiem (Latvian)
    3 August 2022
    0 references
    Is é cuspóir ginearálta theicneolaíocht an tionscadail do chiorcaid iomlánaithe le nód leictreonach 2 nm — (IT2), a nglactar le cistiú ag Comhghnóthas ECSEL, na roghanna teicneolaíochta is gá chun teicneolaíocht loighce 2nm CMOS a bhaint amach a fhiosrú, a aimsiú, a fhorbairt agus a léiriú. Tá na gníomhaíochtaí seo a leanas i gceist leis an gcuspóir sin: Liteagrafaíocht, Taiscéalaíocht ar Phróisis agus Modúil agus Méadreolaíocht. Is é an príomhchuspóir le haghaidh gníomhaíochtaí Méadreolaíochta forbairt bhreise a dhéanamh ar chumas méadreolaíochta, tréithrithe agus cigireachta le híogaireacht agus cruinneas leordhóthanach chun staidéar a dhéanamh ar chéimeanna phróiseas nód 2nm agus chun comhghaolta a bhunú idir paraiméadair agus torthaí próisis ar leibhéal nód 2nm. Thairis sin, ní mór don mhéadreolaíocht atá le forbairt a bheith tapa go leor chun sonraí atá ábhartha ó thaobh staidrimh de a ghiniúint atá riachtanach chun stocastaíocht na bpróiseas agus na hidirthuilleamaíochtaí atá ann i ndearadh na bpróiseas a chainníochtú. Cuirfidh an saineolas a fuarthas sa tionscadal seo ag an leibhéal eolaíochta, teicneolaíochta agus feidhmeach le leathnú an eolais sa réimse seo ag Ollscoil Polytechnic Bucharest — Ionad Eolaíochta Dromchla agus Nanaitheicneolaíocht. Tá aidhm agus cuspóirí an tionscadail comhoiriúnach: agus é mar chuspóir sonrach ag Ais Tosaíochta 1 “Taighde, Forbairt Theicneolaíoch agus Nuálaíocht (RDI) chun tacú le hiomaíochas eacnamaíoch agus forbairt gnó” agus leis na cuspóirí atá le Gníomhaíocht 1.2 “Rannpháirtíocht na Rómáine i dtaighde AE a fheabhsú” agus de réir an ghlao ar thionscadal POC-A.1.1.3-H-2016, tionscadal RO-ECSEL níos cruinne. Tagann cuspóirí an tionscadail agus na torthaí a fhaightear faoi réimse na 4-Eco-nanaitheicneolaíochtaí agus speisialtóireacht ábhar ardfhorbartha. Déanann tionscadal IT2 gníomhaíochtaí taighde tionscail a chiallaíonn taighde nó imscrúdú criticiúil atá beartaithe chun eolas agus comhpháirteanna nua a fháil chun táirgí, próisis nó seirbhísí a fhorbairt chun feabhas a chur ar tháirgí nó ar chórais atá ann cheana. Áirítear leis sin comhpháirteanna a chruthú do chórais chasta agus féadfar a áireamh leis sin fréamhshamhlacha a thógáil sa tsaotharlann nó i dtimpeallacht ina bhfuil comhéadain ionsamhlaithe de chórais atá ann cheana, nuair is gá sin le haghaidh taighde tionsclaíoch agus, go háirithe, chun teicneolaíochtaí cumasúcháin a bhailíochtú. Laistigh den tionscadal IT2, tá UPB páirteach i ngníomhaíocht METROLOGY a bheith ina ghníomhaíocht fíor-riachtanach chun príomhchuspóir an tionscadail a bhaint amach. Is éard atá i ngníomhaíochtaí agus foghníomhaíochtaí CPO raon leathan imscrúduithe fisiciceimiceacha agus imscrúduithe íomháithe, a dhéantar le barrtheicnící turgnamhacha atá ann i saoráidí shaotharlanna CPO. Tá na himscrúduithe sin ríthábhachtach toisc go gcuireann siad go díreach le dearadh agus cur chun feidhme teicneolaíochtaí nua do chiorcaid iomlánaithe a bhfuil nód 2 nm acu. Cruthaíonn na himscrúduithe seo eolas díreach ar phróisis éagsúla (Irish)
    3 August 2022
    0 references
    Splošni cilj projekta Tehnologija za integrirana vezja z elektronskim vozliščem 2 nm (IT2), ki je bil sprejet za financiranje v Skupnem podjetju ECSEL, je raziskati, odkrivati, razvijati in prikazati tehnološke možnosti, potrebne za doseganje logične tehnologije 2nm CMOS. Ta cilj vključuje naslednje dejavnosti: Litografija, raziskovanje procesov in modulov ter meroslovje. Glavni cilj metroloških dejavnosti je nadaljnji razvoj meroslovnih, karakterizacijskih in inšpekcijskih zmogljivosti z zadostno občutljivostjo in natančnostjo za preučevanje faz procesa vozlišča 2nm ter vzpostavitev korelacij med parametri in rezultati procesov na ravni vozlišča 2nm. Poleg tega mora biti meroslovje, ki ga je treba razviti, dovolj hitro, da se pridobijo statistično relevantni podatki, potrebni za količinsko opredelitev stohastičnosti procesov in soodvisnosti, ki obstajajo pri načrtovanju procesov. Strokovno znanje, pridobljeno v tem projektu na znanstveni, tehnološki in aplikativni ravni, bo prispevalo k širjenju znanja na tem področju na Politehnični univerzi v Bukarešti – Centru za površinsko znanost in nanotehnologijo. Namen in cilji projekta so združljivi: s posebnim ciljem prednostne osi 1 „Raziskave, tehnološki razvoj in inovacije v podporo gospodarski konkurenčnosti in razvoju podjetij“ in s cilji ukrepa 1.2 „Krepitev sodelovanja Romunije v raziskavah EU“ ter v skladu z razpisom za projekt POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, natančneje projekt RO-ECSEL. Cilji projekta in dobljeni rezultati spadajo na področje 4-Eko-nanotehnologij in specializacije naprednih materialov. Projekt IT2 izvaja industrijske raziskovalne dejavnosti, ki pomenijo načrtovane raziskave ali kritične raziskave za pridobitev novega znanja in komponent za razvoj izdelkov, procesov ali storitev, da se doseže izboljšanje že obstoječih izdelkov ali sistemov. To vključuje oblikovanje sestavnih delov za kompleksne sisteme in lahko vključuje izdelavo prototipov v laboratoriju ali v okolju s simuliranimi vmesniki obstoječih sistemov, kadar je to potrebno za industrijske raziskave in zlasti za validacijo omogočitvenih tehnologij. V okviru projekta IT2 je UPB vključen v dejavnost METROLOGY, ki je nepogrešljiva dejavnost za doseganje glavnega cilja projekta. Dejavnosti in poddejavnosti surovega palmovega olja so sestavljene iz širokega spektra fizikalno-kemijskih in slikovnih preiskav, ki se izvajajo z vrhunskimi eksperimentalnimi tehnikami, ki obstajajo v prostorih laboratorijev za surovo palmovo olje. Te preiskave so kritične, ker neposredno prispevajo k oblikovanju in izvajanju novih tehnologij za integrirana vezja z vozliščem 2 nm. Te preiskave ustvarjajo neposredno znanje o različnih procesih (Slovenian)
    3 August 2022
    0 references
    Общата цел на проекта „Технология за интегрални схеми с 2 nm — (IT2) електронен възел“, приет за финансиране в съвместното предприятие ECSEL, е да проучи, открие, разработи и демонстрира технологичните възможности, необходими за постигане на логическата технология за CMOS 2nm. Тази цел включва следните дейности: Литография, изследване на процеси и модули и метрология. Основната цел на дейностите по метрология е по-нататъшното развитие на метрологията, характеризирането и капацитета за инспекция с достатъчна чувствителност и точност, за да се проучат етапите на процеса на 2nm възел и да се установят корелации между параметрите и резултатите от процеса на ниво 2nm възел. Освен това метрологията, която предстои да бъде разработена, трябва да бъде достатъчно бърза, за да генерира статистически значими данни, необходими за количествено определяне на стохастичността на процесите и взаимозависимостите, съществуващи при проектирането на процесите. Експертният опит, придобит по този проект на научно, технологично и апликативно ниво, ще допринесе за разширяването на знанията в тази област в Политехническия университет в Букурещ — Център за повърхностна наука и нанотехнологии. Целта и целите на проекта са съвместими: с конкретната цел на приоритетна ос 1 „Научни изследвания, технологично развитие и иновации (НИРИ) в подкрепа на икономическата конкурентоспособност и развитието на бизнеса„и с целите на действие 1.2 „Подобряване на участието на Румъния в научните изследвания на ЕС“ и съгласно поканата за проект POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, по-конкретно проект RO-ECSEL. Целите на проекта и получените резултати попадат в областта на 4-еко-нанотехнологиите и специализацията на авангардните материали. Проектът IT2 извършва промишлени научноизследователски дейности, които означават научни изследвания или критични проучвания, планирани с цел придобиване на нови знания и компоненти за разработването на продукти, процеси или услуги за постигане на подобрение на вече съществуващи продукти или системи. Това включва създаването на съставни части за сложни системи и може да включва изграждането на прототипи в лабораторията или в среда със симулирани интерфейси на съществуващите системи, когато това е необходимо за промишлени изследвания и по-специално за валидиране на базови технологии. В рамките на проекта IT2 UPB участва в дейността на МЕТРОЛОГИЯ като незаменима дейност за постигане на основната цел на проекта. Дейностите и поддейностите на СПМ се състоят от широк спектър от физикохимични и образни изследвания, извършвани с най-добрите експериментални техники, които съществуват в съоръженията на лабораториите за СПМ. Тези разследвания са от решаващо значение, тъй като пряко допринасят за проектирането и внедряването на нови технологии за интегрални схеми с 2 nm възел. Тези разследвания създават преки познания за различни процеси (Bulgarian)
    3 August 2022
    0 references
    L-għan ġenerali tal-proġett Teknoloġija għal ċirkwiti integrati b’nodu elettroniku ta’ 2 nm — (IT2), aċċettat għall-finanzjament fl-Impriża Konġunta ECSEL huwa li jesplora, jiskopri, jiżviluppa u juri l-għażliet teknoloġiċi meħtieġa biex tinkiseb teknoloġija loġika 2nm CMOS. Dan l-għan jinvolvi l-attivitajiet li ġejjin: Il-litografija, l-Esplorazzjoni tal-Proċessi u l-Moduli u l-Metroloġija. L-għan ewlieni għall-attivitajiet tal-Metroloġija huwa li jiġu żviluppati aktar il-kapaċitajiet tal-metroloġija, tal-karatterizzazzjoni u tal-ispezzjoni b’sensittività u preċiżjoni suffiċjenti biex jiġu studjati l-istadji tal-proċess tan-nodu 2nm u biex jiġu stabbiliti korrelazzjonijiet bejn il-parametri u r-riżultati tal-proċess fil-livell ta’ nodi 2nm. Barra minn hekk, il-metroloġija li għandha tiġi żviluppata għandha tkun rapida biżżejjed biex tiġġenera data statistikament rilevanti meħtieġa biex tikkwantifika l-istochastiċità tal-proċessi u l-interdipendenzi eżistenti fit-tfassil tal-proċessi. L-għarfien espert miksub f’dan il-proġett fil-livell xjentifiku, teknoloġiku u applikattiv se jikkontribwixxi għall-espansjoni tal-għarfien f’dan il-qasam fl-Università Politeknika ta’ Bukarest — Ċentru għax-Xjenza tal-Wiċċ u n-Nanoteknoloġija. L-għan u l-għanijiet tal-proġett huma kompatibbli: bl-objettiv speċifiku tal-Assi Prijoritarju 1 “Riċerka, Żvilupp Teknoloġiku u Innovazzjoni (RDI) b’appoġġ għall-kompetittività ekonomika u l-iżvilupp tan-negozju” u bl-objettivi tal-Azzjoni 1.2 “It-tisħiħ tal-parteċipazzjoni Rumena fir-riċerka tal-UE” u skont is-sejħa għall-proġett POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, b’mod aktar preċiż il-proġett RO-ECSEL. L-għanijiet tal-proġett u r-riżultati miksuba jaqgħu taħt il-qasam tal-4-nanoteknoloġiji u l-ispeċjalizzazzjoni tal-materjali avvanzati. Il-proġett IT2 iwettaq attivitajiet ta’ riċerka industrijali li jfissru riċerka jew investigazzjoni kritika ppjanata sabiex jinkisbu għarfien u komponenti ġodda għall-iżvilupp ta’ prodotti, proċessi jew servizzi biex jinkiseb it-titjib ta’ prodotti jew sistemi diġà eżistenti. Dan jinkludi l-ħolqien ta’ partijiet komponenti għal sistemi kumplessi u jista’ jinkludi l-kostruzzjoni ta’ prototipi fil-laboratorju jew f’ambjent b’interfaces simulati ta’ sistemi eżistenti, meta dan ikun meħtieġ għar-riċerka industrijali u, b’mod partikolari, għall-validazzjoni ta’ teknoloġiji abilitanti. Fi ħdan il-proġett IT2, UPB hija involuta f’attività METROLOGY li hija attività indispensabbli biex jintlaħaq l-għan ewlieni tal-proġett. L-attivitajiet u s-subattivitajiet tas-CPO jikkonsistu f’firxa wiesgħa ta’ investigazzjonijiet fiżikokimiċi u ta’ immaġni, imwettqa b’tekniki sperimentali ewlenin li jeżistu fil-faċilitajiet tal-laboratorji tas-CPO. Dawn l-investigazzjonijiet huma kritiċi għaliex jikkontribwixxu direttament għad-disinn u l-implimentazzjoni ta’ teknoloġiji ġodda għal ċirkwiti integrati b’nodu ta’ 2 nm. Dawn l-investigazzjonijiet joħolqu għarfien dirett dwar diversi proċessi (Maltese)
    3 August 2022
    0 references
    O objetivo geral do projeto Tecnologia para circuitos integrados com nó eletrónico de 2 nm – (IT2), aceite para financiamento na Empresa Comum ECSEL, é explorar, descobrir, desenvolver e demonstrar as opções tecnológicas necessárias para alcançar a tecnologia lógica CMOS de 2 nm. Este objetivo envolve as seguintes atividades: Litografia, Exploração de Processos e Módulos e Metrologia. O principal objetivo das atividades de metrologia é continuar a desenvolver capacidades de metrologia, caracterização e inspeção com sensibilidade e exatidão suficientes para estudar as fases do processo do nó 2nm e estabelecer correlações entre os parâmetros e os resultados do processo ao nível do nó 2nm. Além disso, a metrologia a desenvolver deve ser suficientemente rápida para gerar dados estatisticamente relevantes necessários para quantificar a estocástica dos processos e as interdependências existentes na conceção dos processos. Os conhecimentos especializados adquiridos neste projeto a nível científico, tecnológico e de aplicação contribuirão para a expansão dos conhecimentos neste domínio na Universidade Politécnica de Bucareste – Centro de Ciências da Superfície e Nanotecnologia. A finalidade e os objetivos do projeto são compatíveis: com o objetivo específico do eixo prioritário 1 «Investigação, desenvolvimento tecnológico e inovação (IDI) em apoio da competitividade económica e do desenvolvimento empresarial» e com os objetivos da ação 1.2 «Reforçar a participação da Roménia na investigação da UE» e de acordo com o convite à apresentação de propostas para o projeto POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, mais precisamente o projeto RO-ECSEL. Os objetivos do projeto e os resultados obtidos inserem-se no domínio das 4-Eco-nanotecnologias e da especialização em materiais avançados. O projeto IT2 realiza atividades de investigação industrial que significam investigação ou investigação crítica planeada, a fim de adquirir novos conhecimentos e componentes para o desenvolvimento de produtos, processos ou serviços para alcançar a melhoria de produtos ou sistemas já existentes. Tal inclui a criação de componentes para sistemas complexos e pode incluir a construção de protótipos em laboratório ou num ambiente com interfaces simuladas de sistemas existentes, quando tal for necessário para a investigação industrial e, em especial, para a validação de tecnologias facilitadoras. No âmbito do projecto IT2, a UPB está envolvida na actividade METROLOGY sendo uma actividade indispensável para atingir o objectivo principal do projecto. As atividades e subatividades do CPO consistem em uma ampla gama de investigações físico-químicas e de imagem, realizadas com técnicas experimentais de topo que existem nas instalações dos laboratórios de CPO. Estas investigações são críticas porque contribuem diretamente para o projeto e implementação de novas tecnologias para circuitos integrados com nó de 2 nm. Estas investigações criam conhecimento direto sobre vários processos (Portuguese)
    3 August 2022
    0 references
    Det overordnede mål for projektet Teknologi til integrerede kredsløb med elektronisk knudepunkt 2 nm — (IT2), der er godkendt til finansiering i fællesforetagendet ECSEL, er at undersøge, opdage, udvikle og demonstrere de teknologiske muligheder, der er nødvendige for at opnå 2 nm CMOS-logikteknologi. Dette mål omfatter følgende aktiviteter: Litografi, udforskning af processer og moduler og metrologi. Hovedformålet med metrologiaktiviteter er at videreudvikle metrologi-, karakteriserings- og inspektionskapaciteten med tilstrækkelig følsomhed og nøjagtighed til at undersøge faserne i 2 nm-knudeprocessen og at etablere sammenhænge mellem parametre og procesresultater på 2 nm-knudeniveau. Desuden skal den metrologi, der skal udvikles, være tilstrækkelig hurtig til at generere statistisk relevante data, der er nødvendige for at kvantificere processernes stokastiske karakter og den indbyrdes afhængighed, der findes i forbindelse med udformningen af processer. Den ekspertise, der er opnået i dette projekt på videnskabeligt, teknologisk og anvendelsesniveau, vil bidrage til at udvide viden på dette område på det polytekniske universitet i Bukarest — Center for Surface Science and Nanotechnology. Projektets formål og målsætninger er forenelige: med det specifikke mål for prioritetsakse 1 "Forskning, teknologisk udvikling og innovation (FDI) til støtte for økonomisk konkurrenceevne og erhvervsudvikling" og med målene for aktion 1.2 "Styrkelse af Rumæniens deltagelse i EU's forskning" og i overensstemmelse med opfordringen til projekt POC-A.1-A.1.1.3-H-2016, mere præcist RO-ECSEL-projektet. Projektets mål og de opnåede resultater ligger inden for 4-øko-nanoteknologi og avanceret materialespecialisering. IT2-projektet udfører industrielle forskningsaktiviteter, der indebærer forskning eller kritisk undersøgelse planlagt med henblik på at erhverve ny viden og komponenter til udvikling af produkter, processer eller tjenester for at opnå forbedring af allerede eksisterende produkter eller systemer. Dette omfatter oprettelse af komponenter til komplekse systemer og kan omfatte fremstilling af prototyper i laboratoriet eller i et miljø med simulerede grænseflader mellem eksisterende systemer, når dette er nødvendigt for industriel forskning og navnlig for validering af støtteteknologier. Inden for IT2-projektet er UPB involveret i, at METROLOGY-aktiviteten er en uundværlig aktivitet for at nå projektets hovedmål. CPO's aktiviteter og delaktiviteter består af en bred vifte af fysisk-kemiske og billeddannende undersøgelser, der udføres med de bedste forsøgsteknikker, der findes i CPO-laboratoriernes faciliteter. Disse undersøgelser er kritiske, fordi de direkte bidrager til udformningen og gennemførelsen af nye teknologier til integrerede kredsløb med 2 nm-knudepunkt. Disse undersøgelser skaber direkte viden om forskellige processer (Danish)
    3 August 2022
    0 references
    Det allmänna målet för projektet Teknik för integrerade kretsar med en elektronisk nod på 2 nm – (IT2), som godkänts för finansiering vid det gemensamma företaget Ecsel, är att utforska, upptäcka, utveckla och demonstrera de tekniska alternativ som krävs för att uppnå 2nm CMOS-logisk teknik. Detta mål omfattar följande verksamheter: Litografi, undersökning av processer och moduler och metrologi. Huvudsyftet med metrologiverksamheten är att vidareutveckla metrologi, karakterisering och inspektionskapacitet med tillräcklig känslighet och noggrannhet för att studera stegen i 2nm-nodprocessen och att fastställa korrelationer mellan parametrar och processresultat på 2nm nodnivå. Dessutom måste den metrologi som ska utvecklas vara tillräckligt snabb för att generera statistiskt relevanta uppgifter som behövs för att kvantifiera processernas stokasticitet och det ömsesidiga beroende som finns vid utformningen av processer. Den sakkunskap som förvärvats i detta projekt på vetenskaplig, teknisk och praktisk nivå kommer att bidra till att öka kunskapen på detta område vid polytekniska universitetet i Bukarest – Centrum för ytvetenskap och nanoteknik. Projektets syfte och mål är förenliga med varandra: med det särskilda målet för insatsområde 1 ”Forskning, teknisk utveckling och innovation till stöd för ekonomisk konkurrenskraft och företagsutveckling” och med målen för åtgärd 1.2 ”Förbättra Rumäniens deltagande i EU:s forskning” och i enlighet med ansökningsomgången för POC-A.1-A.1.1.3-H-2016-projektet, närmare bestämt RO-ECSEL-projektet. Projektets mål och uppnådda resultat faller inom området 4-Eco-nanoteknik och avancerad materialspecialisering. IT2-projektet bedriver industriell forskningsverksamhet som innebär forskning eller kritisk undersökning planerad för att förvärva ny kunskap och komponenter för utveckling av produkter, processer eller tjänster för att uppnå förbättring av redan befintliga produkter eller system. Detta inbegriper skapande av komponenter till komplexa system och kan inbegripa konstruktion av prototyper i laboratoriet eller i en miljö med simulerade gränssnitt mellan befintliga system, när detta är nödvändigt för industriell forskning och i synnerhet för validering av möjliggörande teknik. Inom IT2-projektet deltar UPB i METROLOGY-verksamhet som är en oundgänglig verksamhet för att uppnå projektets huvudmål. CPO:s verksamhet och delverksamhet består av ett brett spektrum av fysikalisk-kemiska undersökningar och avbildningsundersökningar, som utförs med de bästa experimentella tekniker som finns i CPO-laboratoriernas anläggningar. Dessa undersökningar är kritiska eftersom de direkt bidrar till utformningen och genomförandet av ny teknik för integrerade kretsar med 2 nm nod. Dessa undersökningar skapar direkt kunskap om olika processer (Swedish)
    3 August 2022
    0 references
    Municipiul Bucureşti, Romania
    0 references
    5 June 2024
    0 references

    Identifiers

    136697
    0 references