Q3297336 (Q3297336): Difference between revisions
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Project in Germany | Project Q3297336 in Germany | ||
Revision as of 10:56, 24 October 2021
Project Q3297336 in Germany
| Language | Label | Description | Also known as |
|---|---|---|---|
| English | No label defined |
Project Q3297336 in Germany |
Statements
260,000.0 Euro
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520,000.0 Euro
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50.0 percent
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14 November 2017
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31 December 2019
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Universität Stuttgart
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Neue Anwendungsfelder in der Nanooptik und Plasmonik erfordern die konformale Beschichtung komplexer zwei- und dreidimensionaler Komponenten mit dichten und geschlossenen dielektrischen und metallischen Filmen mit präzise kontrollierbarer Dicke. Bei der Atomlagendeposition (ALD) werden einzelne Monolagen des Materials via gasförmiger Ausgangssubstanzen auf der Probe aufgewachsen. Diese Substanzen können die Probe vollständig durchdringen und tragen daher auch Material in abgeschatteten Bereichen auf. Aufgrund der atomlagenweisen Beschichtung ist eine höchstpräzise Schichtdickenkontrolle prozessimmanent gegeben. Neben Dielektrika lassen sich auch Metalle und Metallverbindungen aufbringen. Diese neuartigen Materialfilme erlauben die Strukturierung von komplexen zwei- und dreidimensionalen Mikro- und Nanostrukturen auf bisher unerreichter Ebene und ermöglichen völlig neue Abbildungssyteme und Optiken. Die ALD wird als Core Facility im Zentrum ZAQuant im Rahmen von IQST eingerichtet. (German)
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Stuttgart
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Identifiers
DE_TEMPORARY_115
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