No label defined (Q3138325)
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Project 0.8996933781763027 in Spain
| Language | Label | Description | Also known as |
|---|---|---|---|
| English | No label defined |
Project 0.8996933781763027 in Spain |
Statements
198,500.0 Euro
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397,000.0 Euro
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50.0 percent
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1 January 2018
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31 December 2020
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IMDEA NANOCIENCIA
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28079
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El Centro de Nanofabricación es una iniciativa conjunta entre el CEI UAM+CSIC y el Instituto IMDEA-Nanociencia para proveer de servicios de nanofabricación de dispositivos a los grupos de investigación y PYMES del entorno. Ubicado en una sala blanca de >200 m2 en el sótano del edificio IMDEA-Nano, forma además parte de la red de laboratorios de la Comunidad de Madrid (#363 NanoFabLab). Operativo desde finales de 2014, consta del más moderno equipamiento para la fabricación de dispositivos en áreas como espacio, ciencia de materiales, superficies funcionales, o tecnologías cuánticas._x000D_ Los dos principales cuellos de botella que limitan la calidad y productividad del centro son: la limitadísima capacidad de de evaporación de metales y la falta de medios para caracterizar tanto óptica como electrónicamente los dispositivos fabricados en condiciones de baja temperatura y atmósfera de vacío._x000D_ Para solucionar estos factores limitantes y mejorar tanto la productividad como la calidad de los dispositivos, se solicitan en la presente propuesta:_x000D_ ¿ Una evaporadora de metales de alta prestaciones, donde el proceso de evaporación se realice en atmósfera de ultra alto vacío y mediante la técnica de cañón de electrones, sobre obleas de 4 pulgadas._x000D_ ¿ Un sistema criogénico de ciclo cerrado y ultra-baja vibración, equipado con motores de posicionamiento y escáner XYZ para caracterización óptica y electrónica de dispositivos en atmósfera de alto vacío y temperaturas en el rango de 4.2 a 320K. (Spanish)
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The Centre for Nanofabrication is a joint venture between the CEI UAM+CSIC and the Institute IMDEA-Nanoscience to provide a service of nanofabrication of devices to the reaserch groups and enterprises of the region. It is located in a >200m2 clean room at the basement of the premises of the IMDEA-Nano building. It is also part of the Laboratory Network of the Comunidad de Madrid (#363 NanoFabLab). It has been producing devices since the end of 2014 and it is equipped with state of the art nanofabrication tools for device nanomanufacturing in areas such space, materials science, functional surfaces or quantum technologies. _x000D_ The two main bottlenecks limiting the quality and productivity of this facility are: The very limited resources to evaporate metals; and the lack of equipment to characterise optically and/or electrically the produced devices under vacuum and low temperature conditions._x000D_ With the aim of tackling this limiting factors and enhance the production yield and quality of the produced devices, this proposal request funding for:_x000D_ ¿ A high quality e-gun metal evaporator working under ultra high vacuum conditions and capable of producing high quality thin films over 4 inch wafers._x000D_ ¿ A close circuit cryogenic¿free system with ultra-low vibrations, equipped with positioning motors and XYZ scanners to characterise devices both electrically and optically, working under high vacuum conditions and temperatures between 4.2 and 320K. (English)
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Madrid
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Identifiers
EQC2018-005134-P
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